很多工藝使用無機(jī)酸作為重要原料。在確定特定應(yīng)用的適用性時(shí)，尤其是在確定該應(yīng)用對工藝和產(chǎn)品的影響時(shí)，準(zhǔn)確評估酸的質(zhì)量是至關(guān)重要的。

化工行業(yè)都需要確定和控制無機(jī)酸的質(zhì)量。這些行業(yè)包括：原料藥物（API，Active Pharmaceutical Ingredient）、化肥、半導(dǎo)體加工、化學(xué)衍生物。酸用于離子交換樹脂再生，也可以是產(chǎn)品配方的原料。

在半導(dǎo)體行業(yè)中，硫酸用于晶圓蝕刻工藝。酸的純度和潔凈度對生產(chǎn)至關(guān)重要，這就要求硫酸供應(yīng)商對產(chǎn)品批次進(jìn)行污染控制，以滿足工藝要求。很多行業(yè)在電鍍工藝中使用硫酸銅。為了提高化學(xué)品的性能，生產(chǎn)商添加有機(jī)基體的勻染劑和增白劑。了解添加劑的用量及其潛在的分解物，有助于控制產(chǎn)品質(zhì)量和工藝。

由于有機(jī)污染物的種類繁多，用總有機(jī)碳（TOC，Total Organic Carbon）作為評估酸質(zhì)量的參數(shù)不失為檢測樣品雜質(zhì)的有效方法。但是，分析儀器必須具有酸基體的化學(xué)耐受性，并能在低pH值下有效氧化有機(jī)碳，這樣才能得到正確的檢測結(jié)果。

Sievers InnovOx ES實(shí)驗(yàn)室型TOC分析儀采用超臨界水氧化（SCWO，Supercritical Water Oxidation）技術(shù)來檢測酸溶液中的TOC的ppm和ppb含量。事實(shí)證明，SCWO技術(shù)能夠?qū)α姿?、鹽酸、硝酸、硫酸進(jìn)行精準(zhǔn)的TOC定量分析。

Sievers InnovOx ES實(shí)驗(yàn)室型分析儀采用SCWO技術(shù)，將有機(jī)碳分子氧化成CO₂，然后用非分散紅外（NDIR，Non-dispersive Infrared）檢測技術(shù)進(jìn)行精確定量。在使用SCWO技術(shù)時(shí)，先在水的臨界點(diǎn)以上對樣品進(jìn)行加熱和加壓。在一定條件下（375?C和220巴），水成為超臨界流體，水中的有機(jī)物高度可溶，而無機(jī)鹽不溶。這就提高了氧化效率，能夠精確檢測腐蝕性和復(fù)雜基質(zhì)中的TOC，甚至濃酸中的TOC。

硫酸中含有來自其自身生產(chǎn)過程的各種雜質(zhì)，包括有機(jī)污染物。這些污染物即使含量極低，也會給要求使用高純度原料的工藝帶來風(fēng)險(xiǎn)，尤其是給半導(dǎo)體和電化學(xué)沉積工藝帶來風(fēng)險(xiǎn)。因此，為了優(yōu)化工藝操作、提供產(chǎn)量，必須對酸的質(zhì)量進(jìn)行定量分析。

Sievers InnovOx ES實(shí)驗(yàn)室TOC分析儀

在測試中，向H₂SO₄中加入不同濃度的鄰苯二甲酸氫鉀（KHP），以此來評估Sievers InnovOx實(shí)驗(yàn)室型分析儀的分析硫酸中TOC的能力。將96%濃度的ACS級硫酸稀釋到24%，然后分別加入0.2、0.5和2 ppmTOC的KHP，進(jìn)而證明了分析儀的分析能力。

分析在0-100 ppm范圍內(nèi)進(jìn)行，由于樣品的pH值適用于TOC分析，故無需使用酸劑。10%過硫酸鈉氧化劑足以分析此范圍的TOC。

表1中的分析數(shù)據(jù)包括加標(biāo)濃度、測自空白24%硫酸溶液的TOC、實(shí)測TOC、以及回收TOC的含量和百分比?；厥盏腡OC值等于實(shí)測TOC減去空白TOC。

表中的數(shù)據(jù)證明了分析儀能夠定量分析濃酸溶液中的低濃度TOC。當(dāng)TOC從2 ppm降至0.2 ppm時(shí)，回收率百分比就會從100%偏離，這主要是因?yàn)榧訕?biāo)濃度（200 ppb）接近空白濃度（180 ppb）。在這種低濃度下，空白濃度或儀器基線的波動會導(dǎo)致結(jié)果的波動。

第二項(xiàng)測試分析了各種濃度硫酸的TOC回收率。將1 ppm TOC的KHP分別加到1、5、10和24%的H₂SO₄中，檢測數(shù)據(jù)如表2所示?；厥盏腡OC值等于實(shí)測TOC減去空白TOC。

5 - 24%H₂SO₄的1 ppm TOC回收率非常好，但1%H₂SO₄的TOC回收率就偏離了45%。當(dāng)TOC濃度接近空白TOC濃度時(shí)，空白檢測值的波動會顯著影響到計(jì)算的TOC結(jié)果。

測試還評估了Sievers InnovOx實(shí)驗(yàn)室型分析儀分析24%ACS級硫酸中0.1 - 0.5 ppm范圍TOC的能力。分別將100、200、300 ppb KHP加到ACS級硫酸中，檢測結(jié)果如表3所示。

檢測結(jié)果顯示了預(yù)期的增長趨勢。100 ppb加標(biāo)顯示了50 ppb的增長，200 ppb加標(biāo)顯示了120 ppb的增長，300 ppb加標(biāo)顯示了230 ppb的增長。顯然，分析儀能夠檢測出410 ppb基線上的50 ppb的增長，這表明分析儀的靈敏度完全適用于分析如此低的濃度。對硫酸進(jìn)行高靈敏度分析的限制因素是基體中的基線TOC。同任何其它分析一樣，基線值附近的結(jié)果容易變化。人們都知道，H₂SO₄的純度低于同樣濃度的其它無機(jī)酸（如HCl、HNO₃等）的純度，因此不難預(yù)料，純品H₂SO₄中含有一定量的有機(jī)雜質(zhì)。