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過(guò)氧化氫(H2O2)是許多行業(yè)在生產(chǎn)工藝中廣泛使用的重要化學(xué)品。許多應(yīng)用(例如半導(dǎo)體制造)都需要使用高純度、低污染的H2O2溶液。有效地檢測(cè)H2O2溶液中的雜質(zhì)濃度(特別是有機(jī)碳濃度),是確定過(guò)H2O2溶液在工藝中的適用性以及H2O2溶液對(duì)工藝和產(chǎn)品的影響的關(guān)鍵。

H2O2溶液中的可溶性有機(jī)雜質(zhì)會(huì)對(duì)半導(dǎo)體工藝和半導(dǎo)體產(chǎn)品造成影響。由于基體產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),因此分析 H2O2溶液中的有機(jī)物含量極為困難。此外,H2O2溶液中的有機(jī)化合物很穩(wěn)定,即使在高反應(yīng)條件下也難以被完全氧化。要想對(duì)H2O2溶液進(jìn)行準(zhǔn)確而穩(wěn)健的總有機(jī)碳分析,就需要一種能夠有效氧化穩(wěn)定的有機(jī)化合物的儀器和方法。


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