3D光學輪廓儀的特點以及應(yīng)用
3D光學輪廓儀常用于測定樣品中被測區(qū)域的表面粗糙情況與輪廓形貌。本文以美國KLA公司提供的一款3D光學輪廓儀為例,讓我們來了解一下吧。
產(chǎn)品特點:
光學輪廓儀對各種產(chǎn)品,部件和材料的表面輪廓,粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
應(yīng)用:
傳統(tǒng)的機械零件由于受加工設(shè)備的限制,對精度包括平面度,粗糙度的要求常規(guī)下停留在微米量級。但隨著技術(shù)發(fā)展,人們對機械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進,設(shè)備加工精度的提高帶動檢測技術(shù)的發(fā)展,傳統(tǒng)的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機械零件有很大的局限性。
光學輪廓儀Z初應(yīng)用在光學加工行業(yè)時,其3D、高速、精密、可靠和穩(wěn)定,開始引起加工人士的注意并開始應(yīng)用。3D光學輪廓儀已在汽車發(fā)動機噴油嘴、半導(dǎo)體切割刀具、人工關(guān)節(jié)制造、量塊標定等方面有大量的應(yīng)用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直線度和高度差等在機械加工檢測中呈現(xiàn)出新的應(yīng)用。
北京中海遠創(chuàng)材料科技有限公司提供的Profilm3D光學輪廓儀讓光學輪廓測量價格更為實惠,使用了目前先進的垂直掃描干涉 (VSI) 結(jié)合高極ng確度相移干涉 (PSI) 測量,以前所未見的價格使得表面形貌研究進入次納米等級。咨詢電話:18604053809
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