最近小伙伴對于濺射儀使用和技術(shù)參數(shù)問的問題比較多，今天總結(jié)一下濺射儀的一些常見的技術(shù)問題：

1、膜厚檢測儀原理：膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理，利用頻率測量技術(shù)加上先進(jìn)的數(shù)學(xué)算法，進(jìn)行膜厚的在線鍍膜速率和實時厚度計算。主要應(yīng)用于MBE、OLED或金屬熱蒸發(fā)、磁控濺射設(shè)備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實時監(jiān)測。

2、濺射儀是否可以鍍鎳：可以鍍鎳  但是 鎳是導(dǎo)磁金屬 所以 需要靶材盡量薄 0.5mm-1mm  太厚磁場無法穿透  濺射速率很低。

3、直流濺射鍍膜調(diào)節(jié)：1 靶材需要良好的導(dǎo)電性, 如果具備這個條件  可以鍍    2 遇到容易氧化的金屬 需要配備分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氬氣維持真空到1Pa左右鍍膜的金屬接近本色。

鄭科探小型濺射儀KT-Z1650PVD

以上是小伙伴近期問的比較多的問題，如果還有什么問題歡迎咨詢。

小型濺射儀儀問儀答

最近小伙伴對于濺射儀使用和技術(shù)參數(shù)問的問題比較多，今天總結(jié)一下濺射儀的一些常見的技術(shù)問題：

1、膜厚檢測儀原理：膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理，利用頻率測量技術(shù)加上先進(jìn)的數(shù)學(xué)算法，進(jìn)行膜厚的在線鍍膜速率和實時厚度計算。主要應(yīng)用于MBE、OLED或金屬熱蒸發(fā)、磁控濺射設(shè)備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實時監(jiān)測。

2、濺射儀是否可以鍍鎳：可以鍍鎳  但是 鎳是導(dǎo)磁金屬 所以 需要靶材盡量薄 0.5mm-1mm 太厚磁場無法穿透  濺射速率很低。

3、直流濺射鍍膜調(diào)節(jié)：1 靶材需要良好的導(dǎo)電性, 如果具備這個條件  可以鍍    2 遇到容易氧化的金屬 需要配備分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氬氣維持真空到1Pa左右鍍膜的金屬接近本色。

鄭科探小型濺射儀KT-Z1650PVD

以上是小伙伴近期問的比較多的問題，如果還有什么問題歡迎咨詢。

               鄭科探小型濺射儀功能優(yōu)勢

1、樣品臺旋轉(zhuǎn)，多樣品同時鍍膜時，鍍膜厚度比較均勻。

2、預(yù)濺射擋板功能，剛開始鍍膜的時候腔室里會有些雜質(zhì)，擋板可以保護(hù)樣品，提高薄膜質(zhì)量

3、帶有水冷系統(tǒng)，可以長時間濺射鍍膜，厚度可達(dá)1微米以上。

4、直流磁控濺射，提高附著力，濺射速率快，比離子濺射快上一個量級。針對某些金屬最快能達(dá)到1-2納米每秒，

5、不但可以電鏡制樣，還可以制作金屬電極。

6、可擴(kuò)展膜厚監(jiān)測，監(jiān)測薄膜厚度。

濺射儀使用需注

1 靶材需要良好的導(dǎo)電性, 如果具備這個條件  可以鍍    

2 遇到容易氧化的金屬 需要配備分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氬氣維持真空到1Pa左右鍍膜的金屬接近本色