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KLA Profilm3D 光學輪廓儀

本文由 優(yōu)尼康科技有限公司 整理匯編

2025-06-19 17:01 598閱讀次數(shù)

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KLA Profilm3D 是一款3D白光干涉輪廓儀。KLA Profilm3D 光學輪廓儀使用垂直干涉掃描(WLI)技術與相位干涉(PSI)技術。以較低的價格實現(xiàn)次納米級的表面形貌研究。采用白光干涉

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