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KLA R50 四探針電阻率測(cè)量?jī)x
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本文由 優(yōu)尼康科技有限公司 整理匯編
2025-06-27 14:59 525閱讀次數(shù)
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KLA R50 四探針電阻率測(cè)繪系統(tǒng)是KLA電阻測(cè)試系列的產(chǎn)品。電阻測(cè)量和監(jiān)控對(duì)于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都相當(dāng)重要，從半導(dǎo)體制造到可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品。KLA R50 四探針電阻率測(cè)量?jī)x在金屬
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KLA R50 四探針電阻率測(cè)量?jī)x- KLA R50 四探針電阻率測(cè)繪系統(tǒng)是KLA電阻測(cè)試系列的產(chǎn)品。電阻測(cè)量和監(jiān)控對(duì)于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都相當(dāng)重要，從半導(dǎo)體制造到可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品。KLA R50 四探針電阻率測(cè)量?jī)x在金屬[詳細(xì)]
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2025-06-27 14:59
產(chǎn)品樣冊(cè)
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- KLA R54 四探針電阻率測(cè)量?jī)x
- KLA R54 四探針電阻率測(cè)量?jī)x是KLA的電阻率測(cè)量產(chǎn)品。從半導(dǎo)體制造到實(shí)現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品，薄膜電阻監(jiān)控對(duì)于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都相當(dāng)重要。KLA R54 四探針電阻率測(cè)量?jī)x在功能上[詳細(xì)]
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2025-06-27 14:58
產(chǎn)品樣冊(cè)
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四探針電阻率測(cè)試儀DK32-KDY-4- 四探針電阻率測(cè)試儀DK32-KDY-4DK32-KDY-4型四探針電阻率測(cè)試儀嚴(yán)格按照硅片電阻率測(cè)量的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)（ASTMF84）及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造，并針對(duì)目前常用的四探針電阻率測(cè)試儀存在的問(wèn)題加以改進(jìn)。整套儀器有如下特點(diǎn)：1、配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表適時(shí)監(jiān)測(cè)全過(guò)程中的電流變化，使操作更簡(jiǎn)便，測(cè)量更極ng確。數(shù)字電壓表量程：0199.9mV靈敏度：100μV輸入阻抗：1000ΜΩ基本誤差±（0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%滿度）2、可測(cè)電阻率范圍：1031.9×103Ωcm。可測(cè)方塊電阻范圍：1021.9×104Ω/□。3、設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí)，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí)，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。4、流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定（萬(wàn)分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機(jī)測(cè)量精度＜3%。電流量程分五檔：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。5、儀器采用觸點(diǎn)電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開(kāi)頭及繼電器（＞10萬(wàn)次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。6、四探針頭采用國(guó)際上先進(jìn)的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測(cè)量重復(fù)性提高[詳細(xì)]
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2018-10-07 10:00
產(chǎn)品樣冊(cè)
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- 四探針/電阻率/方塊電阻測(cè)試
- 四探針/電阻率/方塊電阻測(cè)試[詳細(xì)]
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2024-09-13 17:06
標(biāo)準(zhǔn)
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- 方阻儀/四探針電阻率檢測(cè)儀KDK-KDY-1
- 低阻型四探針檢測(cè)儀/方阻儀/四探針電阻率檢測(cè)儀型號(hào);KDK-KDY-1儀器采用GB/T1552-1995硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直排四探針?lè)ǎ?）范圍：電阻率10-5～10+3歐姆厘米，分辨率為10-5歐姆厘米方塊電阻10-4～10+4歐姆/□，Z小分辨率為10-4歐姆/□（3）可測(cè)量材料：半導(dǎo)體材料硅鍺棒、塊、片、導(dǎo)電薄膜等可準(zhǔn)確測(cè)量的半導(dǎo)體尺寸：直徑≥20可測(cè)量的半導(dǎo)體尺寸：直徑≥8（4）測(cè)量方式：平面測(cè)量。（5）電壓表：雙數(shù)字電壓表，可同時(shí)觀察電流、電壓變化A.量程0~19.999mVB.基本誤差±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)C.靈敏度：1uVD輸入阻抗1000MΩE41/2位數(shù)字顯示，0～19999（6）恒流源：A.電流輸出：直流電流0.003～100mA連續(xù)可調(diào)，有交流電源供給B.量程：10uA，100uA，1mA，10mA，100mA五檔C.恒流源精度：各檔均≤±0.05%（7）四探針測(cè)試探頭A.探頭間距1.59B.探針機(jī)械游率：±0.3%C.探針直徑0.8D.探針材料：碳化鎢，探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆。（8）測(cè)試架：（選配）手動(dòng)測(cè)試架：KDJ-1A型手動(dòng)測(cè)試架探頭上下由手動(dòng)操作，可以用作斷面單晶棒和硅片測(cè)試，探針頭可上下移動(dòng)距離：120mm，測(cè)試臺(tái)面200x200(mm)。（9）精度電器精度：1-1000歐姆≤0.3%整機(jī)測(cè)量精度：1-100歐姆厘米≤3%（10）電流：220V±10%，50HZ，功率消耗35W注：如果測(cè)金屬粉末電阻率必把樣品壓成塊或片才能測(cè)[詳細(xì)]
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2018-09-24 10:01
產(chǎn)品樣冊(cè)
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- 四探針電阻率測(cè)試儀產(chǎn)品樣冊(cè)
- 四探針電阻率測(cè)試儀產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]
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2024-09-30 00:11
報(bào)價(jià)單
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- 四探針電阻率測(cè)試儀的使用方法
- 一、參數(shù)指標(biāo)
測(cè)量半導(dǎo)電電阻率時(shí)： 電阻率10-5--105Ω-cm；分辯率10-6Ω-cm
測(cè)量其他（電線電纜）電阻時(shí)： 電阻10-4--2X105Ω，分辨率1uΩ
二、測(cè)試四探針筆
一般情況下，更換鋼針之類(lèi)，不需要拆開(kāi)探頭，只需要用拔出要更換的鋼針，再重新安裝新針，如果斷針在孔內(nèi)并且不拆開(kāi)難以取出，必須按照以下步驟進(jìn)行操作：
1、先松開(kāi)筆身尾部端側(cè)面的固定小螺絲，輕輕脫下尾部航空插口，保證探針頭部旋轉(zhuǎn)時(shí)同步旋轉(zhuǎn)，防止扭線斷線，短接
2、輕輕擰開(kāi)探針頭子，然后小心將銅片拉出，記住七片絕緣片與銅片之間的位置，（四片銅片每片間夾一片絕緣片，兩邊的銅片外側(cè)各兩片），將斷針從銅片卡口座里取下即可。
3、特別注意一定不能將銅片取下時(shí)的位置錯(cuò)亂，銅片位置按照航空頭四芯1234接線綠紅黃黑的順序一字排列，并且銅片之間按照寬窄順序互相交叉排列，以免短接。
4、安裝時(shí)銅片及絕緣片按照拆下時(shí)的排列輕輕塞進(jìn)探針頭子，并先將探針頭子擰緊，再將尾部航空頭插上，并且旋緊小螺絲，
5、將針裝好，注意針頭針尾方向，尖頭為探針頭部[詳細(xì)]
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2024-09-11 17:53
其它
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- KDY-1A四探針電阻率測(cè)定儀使用說(shuō)明書(shū)
- 使用方法：（1）在背板上電源插座插好電源線、四探針頭連接線，檢查保險(xiǎn)絲管有無(wú)松動(dòng)。（2）打開(kāi)背板上的電源開(kāi)關(guān)（將I按下）此時(shí)面板上的數(shù)字表及各控制開(kāi)關(guān)上均有指示燈點(diǎn)亮。（3）從左向右，察看控制開(kāi)關(guān)，先將電流換檔開(kāi)關(guān)置于“1mA”,在測(cè)硅片、硅塊時(shí)ρ/R置于“ρ”，在測(cè)方塊電阻時(shí)ρ/R置于“R”，校準(zhǔn)/測(cè)量檔選在“校準(zhǔn)”。（4）將四探針頭壓在樣品上，此時(shí)數(shù)字表上顯示的是測(cè)量電流;如選用間距為1.00mm的四探針頭，在10mA檔時(shí),調(diào)節(jié)粗調(diào)、細(xì)調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示6.28，即I=6.28mA。在1mA檔時(shí),調(diào)節(jié)粗調(diào)、細(xì)調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示62.8，即I=0.628mA。如選用間距為1.59mm的四探針頭，在10mA檔時(shí),調(diào)節(jié)粗調(diào)、細(xì)調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示10.0，即I=10mA。在1mA檔時(shí),調(diào)節(jié)粗調(diào)、細(xì)調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示100.0，即I=1mA。（5）將Z右邊的按鈕按下，測(cè)量燈亮。此時(shí)數(shù)字表上顯示的是欲測(cè)樣品電阻率，樣品電阻率在1.0Ωcm至199.9Ωcm之間均可用此檔（1mA）測(cè)量，如數(shù)字表顯示1，后三位全不顯示時(shí)，表示材料電阻率大于200Ωcm。（6）電流選擇電阻率≥1Ωcm時(shí)選用1mA檔測(cè)量。方塊電阻≥10Ω/□時(shí)選用1mA檔測(cè)量。電阻率≤1Ωcm時(shí)選用10mA檔測(cè)量。方塊電阻≤10Ω/□時(shí)選用10mA檔測(cè)量。例如:選用間距為1.00mm的四探針頭，當(dāng)電流換檔開(kāi)關(guān)按到10mA檔燈亮，將測(cè)量/校準(zhǔn)開(kāi)關(guān)按至“校準(zhǔn)”燈亮，調(diào)節(jié)下面的粗、細(xì)調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示6.28，此時(shí)測(cè)量電流即為6.28mA。將測(cè)量/校準(zhǔn)開(kāi)關(guān)按至測(cè)量時(shí)燈亮，此時(shí)讀出的數(shù)即是電阻率值，測(cè)量范圍在0.01至1.00Ωcm，如數(shù)字表顯示0.00時(shí)，即表示材料電阻率很低，已小于0.01Ωcm。測(cè)量硅片電阻率時(shí)，請(qǐng)先用卡尺測(cè)出厚度，再在校準(zhǔn)檔按附表調(diào)節(jié)好電流后，轉(zhuǎn)到測(cè)量檔即可方便讀出電阻率數(shù)。文章來(lái)源：北京綠野創(chuàng)能機(jī)電設(shè)備有限公司[詳細(xì)]
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2018-09-29 10:01
產(chǎn)品樣冊(cè)
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- KLA P-7 探針式臺(tái)階儀
- KLA P-7 探針式臺(tái)階儀可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)150mm而無(wú)需圖像拼接。[詳細(xì)]
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2025-06-19 16:56
產(chǎn)品樣冊(cè)
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- KLA P-17 探針式臺(tái)階儀
- KLA P-17 探針式臺(tái)階儀將自動(dòng)化與可靠性相結(jié)合，適用于無(wú)需晶圓處理器的生產(chǎn)應(yīng)用。這些應(yīng)用包括用于半導(dǎo)體、功率器件、無(wú)線技術(shù)、LED和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)領(lǐng)域的AlTiC、GaAs、Si、SiC和藍(lán)寶石晶圓的[詳細(xì)]
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2025-06-19 16:59
產(chǎn)品樣冊(cè)
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- KLA D600 探針式表面輪廓儀
- KLA D600 探針式表面輪廓儀包括一個(gè)200mm自動(dòng)樣品載臺(tái)和具有增強(qiáng)圖像控制的光學(xué)器件。Alpha-Step輪廓儀體積小巧，專(zhuān)為高校、實(shí)驗(yàn)室和研究所設(shè)計(jì)[詳細(xì)]
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2025-06-19 17:03
產(chǎn)品樣冊(cè)
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- KLA D500 探針式表面輪廓儀
- KLA D500 探針式表面輪廓儀包含140毫米手動(dòng)載物臺(tái)和具有增強(qiáng)影像控制的光學(xué)器件。體積小巧，專(zhuān)為高校、實(shí)驗(yàn)室和研究所設(shè)計(jì)，可為半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體器件、LED、太陽(yáng)能、MEMS、汽車(chē)和醫(yī)療行業(yè)提[詳細(xì)]
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2025-06-19 17:04
產(chǎn)品樣冊(cè)
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- 四探針半導(dǎo)體粉末電阻率測(cè)試儀測(cè)試原理
- 四探針半導(dǎo)體粉末電阻率測(cè)試儀是一種用于測(cè)量材料電阻率的儀器。它采用了四個(gè)探針，通過(guò)測(cè)量材料電阻對(duì)電流的響應(yīng)來(lái)計(jì)算出材料的電阻率。下面將詳細(xì)介紹這種測(cè)試儀的原理和工作過(guò)程。
我們需要了解什么是電阻率。電阻率是材料對(duì)電流的阻礙程度的度量，通常用符號(hào)ρ表示，單位是Ω·m。電阻率越小，材料的導(dǎo)電性越好。而電阻則是電阻率與材料長(zhǎng)度和橫截面積的乘積，可以用來(lái)描述材料的電阻大小。
四探針半導(dǎo)體粉末電阻率測(cè)試儀通過(guò)將四個(gè)探針嵌入待測(cè)試的材料中，形成一個(gè)測(cè)量電流的電路。其中兩個(gè)探針用于施加電壓，另外兩個(gè)探針用于測(cè)量電流。通過(guò)測(cè)量電壓和電流的關(guān)系，就可以計(jì)算出材料的電阻率。
具體的測(cè)試過(guò)程如下：
1. 首先，將待測(cè)試的材料放置在測(cè)試儀的測(cè)試臺(tái)上，并將四個(gè)探針插入材料中。為了確保測(cè)量的準(zhǔn)確性，探針應(yīng)該均勻分布在材料表面，并且彼此之間的距離應(yīng)該足夠遠(yuǎn)。
2. 接下來(lái)，通過(guò)測(cè)試儀的控制面板設(shè)置測(cè)量參數(shù)，包括施加的電壓和測(cè)量的電流范圍。通常，電壓的大小應(yīng)該適中，既能夠產(chǎn)生足夠大的電流，又不會(huì)損壞材料。
3. 當(dāng)設(shè)置好參數(shù)后，開(kāi)始進(jìn)行測(cè)量。測(cè)試儀會(huì)自動(dòng)施加電壓，并通過(guò)另外兩個(gè)探針測(cè)量電流。根據(jù)歐姆定律，[詳細(xì)]
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2023-10-11 16:18
其它
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- 四探針?lè)阶?電阻率測(cè)試儀產(chǎn)品樣冊(cè)
- 四探針?lè)阶?電阻率測(cè)試儀產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]
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2024-09-27 23:58
報(bào)價(jià)單
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- 高溫四探針電阻率測(cè)試系統(tǒng)產(chǎn)品樣冊(cè)
- 高溫四探針電阻率測(cè)試系統(tǒng)產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]
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2024-09-11 17:59
其它
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- KLA P-170全自動(dòng)探針式表面輪廓儀
- KLA P-170 系統(tǒng)的配方設(shè)置快速而簡(jiǎn)單，有點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、雙視角光學(xué)和高分辨率數(shù)字?jǐn)z像機(jī)。將光標(biāo)放置在特定的特征上，通過(guò)自動(dòng)處理晶圓、模式識(shí)別、排序和特征檢測(cè)來(lái)實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化的測(cè)量。[詳細(xì)]
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2025-06-19 17:00
產(chǎn)品樣冊(cè)
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- jjg 508-2004 四探針電阻率測(cè)試儀檢定規(guī)程.pdf
- jjg 508-2004 四探針電阻率測(cè)試儀檢定規(guī)程.pdf[詳細(xì)]
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2015-05-12 00:00
專(zhuān)利
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- 玖久便攜式四探針電阻率測(cè)試儀簡(jiǎn)單介紹
- 玖久便攜式四探針電阻率測(cè)試儀簡(jiǎn)單介紹我公司向您介紹的便攜式電阻測(cè)度儀是用來(lái)測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的國(guó)際及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計(jì)。它主要由電器測(cè)量部份（主機(jī)）及四探頭組成，需要時(shí)可加配測(cè)試架。為減小體積，本儀器用同一塊數(shù)字表測(cè)量電流及阻率。樣品測(cè)試電流由高精寬的恒流源提供，隨時(shí)可進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保電阻率測(cè)量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來(lái)分先材料也可以用來(lái)作產(chǎn)品檢測(cè)。對(duì)1～100Ωcm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測(cè)量瓿差不超過(guò)±3%，在此范圍內(nèi)達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)一級(jí)機(jī)的水平。產(chǎn)品技術(shù)性能：（1）測(cè)量范圍：可測(cè)量電阻率：0.01～199.9Ωcm?？蓽y(cè)方塊電阻：0.1～1999Ω/口當(dāng)被測(cè)材料電阻率≥200Ωcm數(shù)字表顯示0.00。（2）恒流源：輸出電流：DC0.1mA～10mA分兩檔10mA量程：0.1～1mA連續(xù)可調(diào)10mA量程：1mA～10mA連續(xù)可調(diào)恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%適合測(cè)量各種厚度的硅片（3）直流數(shù)字電壓表測(cè)量范圍：0～199.9mv靈敏度：100μv準(zhǔn)確度：0.2%（±2個(gè)字）（4）供電電源：AC：220V±10%50/60HZ功率8W（5）使用環(huán)境：相對(duì)濕度≤80%（6）重量、體積重量：2.2公斤體積：寬210×高100×深240（mm）（7）KD探針頭壓痕直徑：30/50μm間距：1.00mm探針合力：8±1N針材：TC[詳細(xì)]
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2018-10-07 10:01
產(chǎn)品樣冊(cè)
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- 進(jìn)口四探針電阻率測(cè)試儀(4PP)/方塊電阻測(cè)試儀產(chǎn)品樣冊(cè)
- 進(jìn)口四探針電阻率測(cè)試儀(4PP)/方塊電阻測(cè)試儀產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]
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2024-09-16 03:38
課件
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- CDE resmap 273 四探針面掃描電阻率電導(dǎo)率測(cè)試儀產(chǎn)品樣冊(cè)
- CDE resmap 273 四探針面掃描電阻率電導(dǎo)率測(cè)試儀產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]
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2024-09-30 13:39
期刊論文
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