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德國(guó)IPLAS MPCVD 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

本文由 深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司 整理匯編

2024-09-20 13:38 3552閱讀次數(shù)

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德國(guó) iplas 推出的微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
(MPCVD),其真空室的形式為金屬腔-石英管一體式,壓力操作范圍從 10mbar 到室壓范圍,可制 備大尺寸、優(yōu)質(zhì)金剛石(工藝參數(shù)得當(dāng)可制備出首飾級(jí)鉆石)和高均勻性的金剛石厚膜。

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