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德國IPLAS MPCVD CYRANNUS? 專利技術(shù) 第四代半導體,熱沉器件,光學窗口

本文由 深圳市藍星宇電子科技有限公司 整理匯編

2024-09-14 19:11 3661閱讀次數(shù)

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德國IPLAS  MPCVD CYRANNUS? 專利技術(shù)
第四代半導體,熱沉器件,光學窗口
Augsburg Diamond Technology GmbH利用化學氣相沉積技術(shù)在外源襯底(異質(zhì)外延)上合成單晶金剛石。同外延的普遍概念是需要適當尺寸的單晶金剛石作為種子,與此相反,我們的新方法采用多層體系Ir/YSZ/Si作為可擴展的襯底。 這一創(chuàng)新有助于S次在直徑達100毫米的圓盤上合成單晶金剛石。

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