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JJF17392019數(shù)字式激光球面干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

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2024-09-11 17:59 2318閱讀次數(shù)

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面形偏差surface form deviation,被測光學(xué)表面相對于參考光學(xué)表面的偏差。
峰谷值peak-to-valley (PV) value,面形偏差MAX值減去Z小值,簡稱PV值。
PVr 值robust peak-to-valley (PVr) value,面形偏差的36項Zernike多項式擬合面PV值加上3倍擬合殘差(面形偏差減去36項.
3.4球面元件F 數(shù)F number of spherical optics,球面曲率半徑與通光口徑的比值。注:被測球面元件F數(shù)應(yīng)當(dāng)小于或等于干涉儀球面鏡頭F數(shù),才能實(shí)現(xiàn)球面干涉儀全表面測量

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