Filmetrics F54 微區(qū)自動測量系統(tǒng)能以一個電動R-Theta平臺自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達450毫米，可選擇數(shù)十種內建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無數(shù)量限制之測量點.只需具備基本電腦技能，就可在數(shù)分鐘內自行建立配方。

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Filmetrics F50 全自動Mapping薄膜厚度測量系統(tǒng) 依靠光譜測量系統(tǒng)，可以簡單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標移動平臺，可以快速的定位所需測試的點并測試厚度，測試非?？焖?，大約每秒能測試兩點。用戶可以自己繪制需要的點位地圖。Filmetrics F50 全自動Mapping薄膜厚度測量系統(tǒng) 配置精度高使用壽命長的移動平臺，以求能夠做成千上萬次測量。

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Filmetrics F50 全自動Mapping薄膜厚度測量系統(tǒng) 依靠光譜測量系統(tǒng)，可以簡單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標移動平臺，可以快速的定位所需測試的點并測試厚度，測試非常快速，大約每秒能測試兩點。用戶可以自己繪制需要的點位地圖。Filmetrics F50 全自動Mapping薄膜厚度測量系統(tǒng) 配置精度高使用壽命長的移動平臺，以求能夠做成千上萬次測量。