離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔，之后試樣復(fù)原，再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。

離子濺射儀維護：

在掃描電鏡的樣品預(yù)處理中，給樣品表面鍍金，對樣品的導(dǎo)電性進行改善為離子濺射儀的主要用途。這些年以來，經(jīng)常會有報錯，不可以正常鍍金的情況發(fā)生，需要進行維護。

1、對真空度進行調(diào)節(jié)

若將樣品倉內(nèi)壁清理了依然還是報錯，則需要對儀器的真空度加以留心。一般7帕為鍍金時倉內(nèi)壓力，當(dāng)壓力維持在6帕或者更加小的時候就容易報錯。將樣品放好，將樣品倉蓋上，鍍金程序啟動，對儀器面板上的壓力變化進行觀察，待到儀器正面第二個指示燈（對真空度進行調(diào)節(jié)）閃動時，對下面的旋鈕進行調(diào)整，當(dāng)順時針旋轉(zhuǎn)時會增大壓力，當(dāng)逆時針旋轉(zhuǎn)時會減小壓力，按照需求認(rèn)真調(diào)整到7帕左右就行，如此，儀器即可正常鍍金了。

2、對樣品倉進行清潔

在對儀器的使用中，在樣品倉內(nèi)壁上會有污染物沉積，通常在使用前會使用干凈的布或紙擦拭，再使用洗耳球吹凈。儀器使用較長的時間，在內(nèi)壁下沿會附著有很多金顆粒，擦除掉相當(dāng)困難，能夠在樣品倉內(nèi)涂金屬拋光膏，再使用紙反復(fù)擦拭，即較為容易清理，之后再使用酒精清理。