離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔，之后試樣復原，再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應氣體。

離子濺射儀系統(tǒng)測試：

離子濺射儀真空系統(tǒng):

1、對電壓合適與否進行檢查，將離子濺射儀主機電源插上。

2、將氣體控制閥關(guān)閉。

3、將控制單元打開。

4、將泵暖機5分鐘。

5、將控制單元關(guān)閉，將濺射頭上蓋的放氣閥拔出放氣,結(jié)束放氣以后再將閥放下。

6、再次將控制單元，對0.1兆比特耗時進行檢查，90秒鐘較為合適。

7、運行15分鐘，對真空到大約0.01兆比特進行檢查。

8、將電源關(guān)掉。

離子濺射儀系統(tǒng)濺射單元：

1、抽真空至低于0.05兆比特。

2、對前面控制面板上的氣體控制閥進行調(diào)節(jié)，使得壓力穩(wěn)定在大約0.08兆比特。

3、將主機后面的濺射電流控制旋鈕順時針旋轉(zhuǎn)到底。

4、將TEST按下，這時mb燈熄滅，電流燈亮起，量表顯示大約45毫安。

離子濺射儀基本參數(shù)：

離子電流:不超過50毫安

鍍膜時間:9檔,5秒至3600秒

氣體控制:微調(diào)進氣閥，能夠和φ3毫米軟管連接，將氣體通入，對真空度和濺射電流進行調(diào)節(jié)。

zui高電壓:負1200伏特

機械泵:標準配置每秒2升

主機規(guī)格:長360毫米,高300毫米,深380毫米

真空室:直徑:160毫米,高:120毫米

上部電極:靶材料標準配置:金，靶直徑:50毫米，厚度:0.1毫米。

濺射面積:中50毫米,zui高真空度:不超過4×100mbar