離子濺射儀為一種有著緊湊結構的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔，之后試樣復原，再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應氣體。

離子濺射儀基本組成和作用:

1、手動開關：將該開關按下，對濺射電流強弱進行測試，在定時器工作期間起不到作用。

2、啟動開關：對該開關進行按觸，對定時器及加載濺射電壓進行啟動。若在濺射期間，發(fā)生過流保護，在濺射電壓再次加載時，需要對該開關再次按觸。

3、微調進氣閥門：對按鈕進行旋轉，對樣品真空室中的真空度進行控制，對濺射電流進行調整，能夠將多種氣體通入。

4、限流指示燈：該燈亮起，提示當前如果加載濺射電壓則過載。

5、電流指示表：對當前電離電流值進行顯示。

6、對當前設備的真空度進行顯示。

7、上蓋:密閉樣品真空室

8、上部電極:安裝鍍膜材料的裝置(負極)

9、樣品臺:固定被鍍樣品的裝置(陽極)

10、定時選擇開關：對該開關進行旋轉，對鍍膜時間進行設置。值得注意的是定時器分別有停止、暫停和運行三種狀態(tài)。

11、電源開關：對該開關進行搬動，對設備工作狀態(tài)進行確定。