將各類膠液滴注于高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴在基片上的膠液通過離心力在基片上均勻地涂覆的設(shè)備，被叫做勻膠機。溶膠的黏度以及勻膠機的轉(zhuǎn)速對于膜的厚度起到?jīng)Q定性作用。

勻膠機主要特點

1、定時功能為其所具有。

2、采用光電的辦法來進行測速，使得光電脈沖產(chǎn)生，通過晶體分頻測速有著較高的準確性。

3、吸片，電磁閥被采用來對氣路進行控制，一個氣泵能夠同時帶幾臺勻膠機進行工作，對于流水線的工藝非常適合，使效率得到提高。

4、在對結(jié)構(gòu)進行安裝時，減振措施被采用了，使在運轉(zhuǎn)時有著較低的噪音得到了保證。

5、開關(guān)電流調(diào)速，有著更好的穩(wěn)定性能，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準。

6、轉(zhuǎn)速在500-8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)相當?shù)姆€(wěn)定。

7、雙轉(zhuǎn)速被采用。在啟動以后，shou先通過低速運轉(zhuǎn)攤開膠，然后自動轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn)。分別能夠調(diào)節(jié)兩種轉(zhuǎn)速及相應的時間。時間分別能夠控制在1-18秒和3秒-1分鐘。

影響旋涂薄膜厚度的因素:

1、以設(shè)定恒定的速率和時長旋轉(zhuǎn)基底,利用膠液的揮發(fā)性來對薄膜的厚度進行改變。

2、以設(shè)定恒定的速率和時長旋轉(zhuǎn)基底,利用對膠液的黏度力的改變而使薄膜的厚度改變。

3、保持旋涂時間不變，利用對旋轉(zhuǎn)基底的速度進行改變，從而使薄膜的厚度發(fā)生改變。

4、保持速度不變，利用對基底旋轉(zhuǎn)的時間進行改變，從而使薄膜的厚度發(fā)生改變。

5、在基底材料的表面滴注膠液。往基底材料表面噴灑或者滴注待涂覆的溶液或者膠液。滴注的膠液量一般要比zui后涂覆在表面的膠液量要高的多。

6、利用非常短并且非?？斓募铀?，使得基底材料的旋轉(zhuǎn)速度達到設(shè)定的期望的理想轉(zhuǎn)速非?？焖?。