將各類膠液滴注于高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴在基片上的膠液通過(guò)離心力在基片上均勻地涂覆的設(shè)備，被叫做勻膠機(jī)。溶膠的黏度以及勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速對(duì)于膜的厚度起到?jīng)Q定性作用。

特色智能程控勻膠機(jī)特點(diǎn)

1、Windows操作界面，內(nèi)置電腦控制，USB接口和打印機(jī)等外部設(shè)備連接。

2、聚四氟乙烯腔體，不銹鋼腔體

3、能夠?qū)﹀兡こ绦蜃远x，能夠任意變化鍍膜步驟。40種鍍膜程序，每種程序能夠?qū)?0個(gè)步驟進(jìn)行設(shè)置（能夠按照用戶要求任意擴(kuò)展）。

4、耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼為機(jī)身所選用，不生銹，清洗起來(lái)相當(dāng)便利。

5、全色7英寸觸摸屏控制面板被采用，操作起來(lái)更加便利、簡(jiǎn)單和直觀。

6、即時(shí)旋涂速度和時(shí)間通過(guò)圖形顯示，設(shè)置的參數(shù)旋涂過(guò)程一目了然。

特色智能程控勻膠機(jī)主要技術(shù)指標(biāo)

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：1 rpm

轉(zhuǎn)速可重復(fù)性：1 rpm

鍍膜尺寸：φ10 ～ 200 mm

鍍膜時(shí)間設(shè)置： 1～9999 sec/ step

旋涂速度：0～ 5,000 rpm

旋涂加速度：0 ～ 30,000 rpm/s （空載）

特色智能程控勻膠機(jī)用途

智能程控勻膠機(jī)是高精密的旋轉(zhuǎn)涂膜儀，其主要被用來(lái)替高等院校、科研院所、研發(fā)中xin等進(jìn)行各種功能薄膜的研究，開(kāi)發(fā)。對(duì)于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃、生物薄膜、制版等工藝表面涂覆十分適用。

特色智能程控勻膠機(jī)發(fā)展趨勢(shì)

將預(yù)涂增粘劑（HMDS）的冷板和熱板工藝模塊加入到自動(dòng)工作方式的勻膠機(jī)中為這些年以來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)，來(lái)使光刻膠和晶片的附著力得以增強(qiáng)。為了使生產(chǎn)率提高，多種工藝模塊任意組合的積木式結(jié)構(gòu)已經(jīng)被國(guó)外研制出來(lái)，膠膜自動(dòng)測(cè)量和監(jiān)控裝置也為其中的某些所帶有。