分子束外延系統(tǒng)為一種在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用的分析儀器。

近十幾年來(lái)在半導(dǎo)體工藝中發(fā)展起來(lái)的一項(xiàng)新技術(shù)包括分子束外延技術(shù)，其在超高真空條件下，類(lèi)似于真空蒸發(fā)鍍把構(gòu)成晶體的各個(gè)組分和予摻雜的原子(分子)，通過(guò)一定的熱運(yùn)動(dòng)速度，根據(jù)一定的比例由噴射爐中往基片上噴射去進(jìn)行晶體外延生長(zhǎng)而對(duì)單晶膜進(jìn)行制備的一種方法。簡(jiǎn)稱(chēng)為MBE法。

分子束外延系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

樣品進(jìn)樣室、預(yù)處理分析室和牛K竄等共同組成了分子束外延裝置。通過(guò)閘扳閥隔開(kāi)竄間，從而使生長(zhǎng)室的超高真空與清潔得以確保。按照分子束外延裝置系統(tǒng)的幾何結(jié)構(gòu)對(duì)真空系統(tǒng)進(jìn)行相應(yīng)地配置。按照要求，3個(gè)室的真空配置的配置泵的系統(tǒng)并不相同：

1、生長(zhǎng)室

真空度為1.33×10-9帕。需要根據(jù)生長(zhǎng)室的容積大小和所用的生長(zhǎng)材料的陣質(zhì)來(lái)進(jìn)行配置。主泵主要為大抽速離子泵、太抽速閉路循環(huán)液氮低溫泵、大抽速渦輪分子泵以及大抽速帶冷阱的特種油擴(kuò)散泵等四種泵，而通過(guò)鈦來(lái)對(duì)泵進(jìn)行升華加以輔助。

2、預(yù)處理分析室

真空度為1.33×10-8帕，是通過(guò)每秒400升抽速的離子泵來(lái)獲得。

3、進(jìn)樣室

真空度為1.33×10-6到1.33×10-8帕。吸附泵或渦輪分子加離子泵在壓力為1.33×10-6到1.33×10-7帕段使用。渦輪分子泵或其他泵加閉路循環(huán)液氮低溫泵在壓力為1.33×10-8帕使用，渦輪分子泵在壓力為1.33×10-7帕?xí)r使用。