將各類膠液滴注于高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴在基片上的膠液通過離心力在基片上均勻地涂覆的設(shè)備，被叫做勻膠機。溶膠的黏度以及勻膠機的轉(zhuǎn)速對于膜的厚度起到?jīng)Q定性作用。

勻膠機工作原理

滴膠高速旋轉(zhuǎn)以及干燥溶劑揮發(fā)的幾個步驟均包含于一個典型的勻膠過程中。滴膠這一步是往基片表面上注入光刻膠滴，高速旋轉(zhuǎn)是在基片上鋪展光刻膠使得簿層形成，干燥這一步是將膠層中多余的溶劑除去。靜態(tài)滴膠和動態(tài)滴膠為兩種比較常用的滴膠方式。往靜止的基片表面的中xin簡單地注光刻膠，即為靜態(tài)滴膠，滴膠量在1-10毫升不等。應(yīng)當按照光刻膠的粘度和基片的大小來決定滴膠的多少。如果粘度比較高或基片比較大,通常需要滴較多的膠，從而使在高速旋轉(zhuǎn)階段整個基片上均涂到膠得到保證。動態(tài)的作用為使在基片上可以容易地鋪展開光刻膠，從而使光刻膠的浪費現(xiàn)象得以減少。采用動態(tài)滴膠僅僅需要較少量的光刻膠就可以將整個基片表面潤濕(鋪展覆蓋)。特別是在當光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下。動態(tài)滴膠特別適用，不會有針孔產(chǎn)生。滴膠之后一步即為高速旋轉(zhuǎn)。使光刻膠層變薄，使zui終要求的膜厚達到，該階段的轉(zhuǎn)速通常為1500-6000轉(zhuǎn)/分。依然需要根據(jù)包括粘度,溶劑揮發(fā)速度,固體含量以及表面張力等光刻膠的性能以及基片的大小來對轉(zhuǎn)速進行選定?？焖傩D(zhuǎn)的時間能夠從10秒鐘到幾分鐘。zui終膠膜的厚度通常由勻膠的轉(zhuǎn)速以及勻膠時間往所決定。