產(chǎn)品簡介： 該標(biāo)樣用于掃描電鏡（包括電子探針等）儀器主要性能的校驗(yàn)和檢驗(yàn)，如圖像的放大倍率檢驗(yàn)與調(diào)整、掃描圖像畸變的調(diào)整、像散調(diào)節(jié)以及樣品臺的復(fù)位檢驗(yàn)等，是掃描電鏡儀器驗(yàn)收、儀器年度檢驗(yàn)、計量認(rèn)證、實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可等考核中，都需要的標(biāo)準(zhǔn)樣品。同時，該標(biāo)準(zhǔn)樣品也是掃描電鏡微米納米長度精確測量的標(biāo)準(zhǔn)樣品、是微米長度測量的高可溯源級別的量值傳遞工具。是多個國家標(biāo)準(zhǔn)文件GB/T 27788、16594、17722、20307、JJF1916等實(shí)施所必需的標(biāo)準(zhǔn)樣品。

本標(biāo)準(zhǔn)樣品的線距值由德國聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺大范圍計量型掃描力顯微鏡(M- LRSFM)進(jìn)行測量，測量結(jié)果可直接溯源至米定義計量基準(zhǔn)。各線距結(jié)構(gòu)的測量值分別為：400006±42nm(X方向)、400018±4.2nm(Y方向)、200004±1.8nm(X方向)、200000±1.8nm(Y方向)、100002±0.5mm(X方向)、100000±0.5mm(Y方向)、500000.6mm(X方向)、50003±0.6mm(Y方向)、1000.4±0.7nm(X方向)1000.4±0.7mm(Y方向)，置信限為95%，k=2。

測量范圍：線間隔結(jié)構(gòu)—（0-50）μm

不確定度/準(zhǔn)確度等級：Ｕ=（1+2*10-3*p）nm，k=2（Ｐ-nm）

(1)可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的最有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品

(2)可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗(yàn)，是評價掃描電鏡圖像質(zhì)量的個重要工具

(3)可直接用于同一量級物體長度的精確比對測量

(4)對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗(yàn)也有較好的作用

(5)利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子”圖像，可對電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺復(fù)位檢驗(yàn)

產(chǎn)品自帶通用德國 PTB 國際溯源證書。