產(chǎn)品簡介： 該標樣用于掃描電鏡（包括電子探針等）儀器主要性能的校驗和檢驗，如圖像的放大倍率檢驗與調(diào)整、掃描圖像畸變的調(diào)整、像散調(diào)節(jié)以及樣品臺的復位檢驗等，是掃描電鏡儀器驗收、儀器年度檢驗、計量認證、實驗室認可等考核中，都需要的標準樣品。同時，該標準樣品也是掃描電鏡微米納米長度精確測量的標準樣品、是微米長度測量的高可溯源級別的量值傳遞工具。是多個國家標準文件GB/T 27788、16594、17722、20307、JJF1916等實施所必需的標準樣品。

本系列標準樣品的線距值由德國聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺大范圍計量型掃描力顯微鏡(M- LRSFM)進行測量，測量結果可直接溯源至米定義計量基準。各線距結構的測量值分別為：400006±42nm(X方向)、400018±4.2nm(Y方向)、200004±1.8nm(X方向)、200000±1.8nm(Y方向)、100002±0.5mm(X方向)、100000±0.5mm(Y方向)、500000.6mm(X方向)、50003±0.6mm(Y方向)、1000.4±0.7nm(X方向)1000.4±0.7mm(Y方向)，置信限為95%，k=2。

S1000nm是在S1000的基礎上加了，500，200，100nm三組條柵。

測量范圍：線間隔結構—（0-50）μm

不確定度/準確度等級：Ｕ=（1+2*10-3*p）nm，k=3（Ｐ-nm）

(1)可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進行檢查或校正，是校準從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的最有效的圖形標準樣品

(2)可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進行校驗，是評價掃描電鏡圖像質(zhì)量的個重要工具

(3)可直接用于同一量級物體長度的精確比對測量

(4)對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉調(diào)整功能的檢驗也有較好的作用

(5)利用標樣上的“點子”圖像，可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復位檢驗

產(chǎn)品自帶通用德國 PTB 國際溯源證書。