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原子層沉積系統(tǒng)-SE6

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產(chǎn)品特點:

1. SE series可執(zhí)行Thermal-ALD,PEALD,與ALA等先進制程。
2. SE series具有高度的改造彈性,但其性能與穩(wěn)定性并不因此而犧牲。
3. 原子層沉積系統(tǒng)設(shè)計具有便捷、穩(wěn)定、再現(xiàn)性高的產(chǎn)品定位。

產(chǎn)品詳情:

設(shè)計理念

1. SE series可執(zhí)行Thermal-ALD,PEALD,與ALA等先進制程。

2. SE series具有高度的改造彈性,但其性能與穩(wěn)定性并不因此而犧牲。

3. 原子層沉積系統(tǒng)設(shè)計具有便捷、穩(wěn)定、再現(xiàn)性高的產(chǎn)品定位。


設(shè)計特點

1. 模塊化前驅(qū)物導入系統(tǒng)易于維護、維修與擴充較多4組前驅(qū)物,并可使用 低蒸汽壓前驅(qū)物;徹底分流避免管路堵塞與粉塵問題

2. 低泄露率特殊設(shè)計,可摒除低劑量污染源影響制程結(jié)果

3. 滿足現(xiàn)行多數(shù)材料制程需求: Oxide or nitride of Al,Si,Ti,Zr,Hf,etc..Metal(TBD)

4. 單系統(tǒng)寬54cm內(nèi),實驗室友好尺寸

5. 特殊電漿源設(shè)計(Remote plasma)可提升GPC 6%(相較于ICP)

6. 特殊進氣設(shè)計改善均勻性(U%<2%)針對死角殘留問題進行特殊設(shè)計.

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