原子層沉積系統(tǒng)-SE6
原子層沉積系統(tǒng)ALD產(chǎn)品
臺式無掩模光刻機-SHNTI
聚合物筆印刷Park XE-PPL
電子束曝光系統(tǒng) ELS-F125/F100/HS50
設(shè)計理念
1. SE series可執(zhí)行Thermal-ALD,PEALD,與ALA等先進制程。
2. SE series具有高度的改造彈性,但其性能與穩(wěn)定性并不因此而犧牲。
3. 原子層沉積系統(tǒng)設(shè)計具有便捷、穩(wěn)定、再現(xiàn)性高的產(chǎn)品定位。
設(shè)計特點
1. 模塊化前驅(qū)物導入系統(tǒng)易于維護、維修與擴充較多4組前驅(qū)物,并可使用 低蒸汽壓前驅(qū)物;徹底分流避免管路堵塞與粉塵問題
2. 低泄露率特殊設(shè)計,可摒除低劑量污染源影響制程結(jié)果
3. 滿足現(xiàn)行多數(shù)材料制程需求: Oxide or nitride of Al,Si,Ti,Zr,Hf,etc..Metal(TBD)
4. 單系統(tǒng)寬54cm內(nèi),實驗室友好尺寸
5. 特殊電漿源設(shè)計(Remote plasma)可提升GPC 6%(相較于ICP)
6. 特殊進氣設(shè)計改善均勻性(U%<2%)針對死角殘留問題進行特殊設(shè)計.

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已咨詢2926次P 系列粉末原子層沉積系統(tǒng)
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已咨詢369次原子層沉積系統(tǒng)ALD產(chǎn)品
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已咨詢2982次PANDORA 多功能臺式原子層沉積系統(tǒng)
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已咨詢546次日本Microphase 原子層沉積系統(tǒng)
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已咨詢2953次樣品制備
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已咨詢690次鍍膜沉積機
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已咨詢626次鍍膜沉積機
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已咨詢1483次薄膜半導體材料制備系統(tǒng)
1. SE series可執(zhí)行Thermal-ALD,PEALD,與ALA等先進制程。 2. SE series具有高度的改造彈性,但其性能與穩(wěn)定性并不因此而犧牲。 3. 原子層沉積系統(tǒng)設(shè)計具有便捷、穩(wěn)定、再現(xiàn)性高的產(chǎn)品定位。
WinSPM EDU 系統(tǒng)榮獲“全國教學儀器設(shè)備評比較好獎”,該獎項由國家教育裝備委員會頒發(fā),表彰其在納米教育實驗系統(tǒng)方面的創(chuàng)新設(shè)計、穩(wěn)定性能和在全國高校廣泛應用中的突出表現(xiàn)。
日本東宇 是業(yè)界知名的氮氣發(fā)生器廠家,擁有30年豐富的銷售經(jīng)驗及專業(yè)的售后支持團隊。 日本京都的研發(fā)生產(chǎn)中心, 與合作實驗室持續(xù)開發(fā)新機型。 在日本、 中國等多國取得多項技術(shù)專利。工廠通過ISO9001認證。
較為低的曲率半徑:每根針經(jīng)過質(zhì)檢; 較小探針差異:較為特加工工藝實現(xiàn)精準控制
AIUniBeam”是一種基于Al的光束均勻性補償技術(shù)采用光束輪廓儀進行補償。光束輪廓儀測量每個像素的強度,然后通過像素控制對局部強度進行補償和優(yōu)化,以滿足98%以上的均勻性。
電子束曝光指利用聚焦電子束在光刻膠上制造圖形的工藝 , 是光刻工藝的延伸應用 。 電子束曝光系統(tǒng)是實現(xiàn)電子束曝光 技術(shù)的硬件平臺,系統(tǒng)的性能決定了曝光工藝關(guān)鍵尺寸、拼接和套刻精度等參數(shù)。
我們的SERS基底采用創(chuàng)新技術(shù)制造,使您可以進行SERS快速和重復測量,從而對SERS活性的樣品進行定性分析和定量分析。