KLA FilmetricsF20是一款高精度薄膜厚度測量儀，采用光譜反射技術(shù)，測量范圍覆蓋1納米至3毫米，具備一鍵操作、非接觸測量及多層結(jié)構(gòu)分析能力，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、OLED、光伏、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，兼具高精度與易用性。

KLA R54 四探針電阻率測量儀是KLA的電阻率測量產(chǎn)品。從半導(dǎo)體制造到實現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品，薄膜電阻監(jiān)控對于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都相當(dāng)重要。KLA R54 四探針電阻率測量儀在功能上針對金屬薄膜均勻性測繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測量以及非接觸式薄膜厚度測量進行了優(yōu)化。

Filmetrics F54 微區(qū)自動測量系統(tǒng)能以一個電動R-Theta平臺自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達450毫米，可選擇數(shù)十種內(nèi)建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無數(shù)量限制之測量點.只需具備基本電腦技能，就可在數(shù)分鐘內(nèi)自行建立配方。

Filmetrics F50 全自動Mapping薄膜厚度測量系統(tǒng) 依靠光譜測量系統(tǒng)，可以簡單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標移動平臺，可以快速的定位所需測試的點并測試厚度，測試非?？焖?，大約每秒能測試兩點。用戶可以自己繪制需要的點位地圖。Filmetrics F50 全自動Mapping薄膜厚度測量系統(tǒng) 配置精度高使用壽命長的移動平臺，以求能夠做成千上萬次測量。

Filmetrics F60-t 自動膜厚儀就像我們的F50自動膜厚儀產(chǎn)品一樣。主要測繪薄膜厚度和折射率。但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預(yù)裝軟件的工業(yè)計算機，以及可以升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C型。

Filmetrics F32 四通道在線式膜厚儀特殊的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3u rack- mount底盤，加上附加的分光計，可達到四個不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個位置)。F32膜厚儀軟件可以通過數(shù)字I/O或主機軟件來控制啟動/停止/復(fù)位測量。測量數(shù)據(jù)可以自動導(dǎo)出到主機軟件中進行統(tǒng)計過程控制。還提供可選的透鏡組件，以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。

無論您是想要知道薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)，還是想要知道材料的反射率和透過率，F(xiàn)ilmetrics F20 單點便攜式膜厚儀都能滿足您的需要。僅需花費幾分鐘完成安裝，通過USB連接電腦，設(shè)備就可以在數(shù)秒內(nèi)得到測量結(jié)果。基于模塊化設(shè)計的特點，F(xiàn)ilmetrics F20 單點便攜式膜厚儀適用于各種應(yīng)用。

Filmetrics F54-XY-200 全自動Mapping膜厚分布測量系統(tǒng)，可以測量尺寸達200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供厚度測量，達到每秒兩點。您可以從數(shù)十種預(yù)定義的極性，矩形或線性測量坐標圖案中選擇，也可以創(chuàng)建自己編輯的測量點數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設(shè)置，任何具有基本計算機技能的人都可以使用。