KLA R54 四探針電阻率測量儀是KLA的電阻率測量產(chǎn)品。從半導(dǎo)體制造到實現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品，薄膜電阻監(jiān)控對于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都相當重要。KLA R54 四探針電阻率測量儀在功能上針對金屬薄膜均勻性測繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測量以及非接觸式薄膜厚度測量進行了優(yōu)化。

該儀器傳感器陣列由16(12)個獨立傳感器組成，每個傳感器都可以測得一條套管壁厚曲線，即可測量內(nèi)層管厚度及損傷情況，還可測量外層套管的厚度。

美國Extech CG204型電磁/電渦流測厚儀，雙技術(shù)提供自動識別鐵基和非鐵基。