采集方式 相移 波長 3.39um 10.6um 精確度 0.01λ 分辨率 640*512 口徑 75-200mm

FUJINON F601 G102 FI251等富士干涉儀激光管維修和更換 品牌：FUJINON 型號：F601 貨號：ZB2019122300123 裝修及施工內容：安裝工程

Veeco/WYKO HD3300白光干涉儀 微觀形貌分析設備 納米級高分辨率 產品信息 品牌：Veeco/WYKO 型號：HD3300

現(xiàn)場GX球面檢測干涉儀（數(shù)字化相移分析系列）是一種高性能模塊化組合檢測干涉儀。它采用國內外SC的組合式激光干涉模塊作為核心部件，主要用于檢測高精度快速球面和曲率半徑球面面形。通過模塊化的設計理念，針對不同的光源、鏡頭口徑、成像方式，不僅在測量過程中拆卸方便，也可適用于多種被測面的測量，大大降低檢測成本。通過慧利儀器專用軟件，可對被測對象實時采樣和分析，并形成2D和3D圖形。 現(xiàn)場GX球面檢測干涉儀（數(shù)字化動態(tài)分析系列）采用斐索干涉原理，是一款在生產和質量控制中均能提供高精度表面檢測的干涉儀。該產品經(jīng)過優(yōu)良的光學系統(tǒng)設計、穩(wěn)定的動態(tài)分析軟件、精密的系統(tǒng)裝備，使其具備良好的抗振性能，適用于光學加工現(xiàn)場、光學車間的大批量檢驗，這使得客戶在提高產品質量的同時，也能節(jié)省成本投入。

無應力平面檢測干涉儀（數(shù)字化相移分析系列）是高性能模塊化組合檢測干涉儀中的一種，它采用國內外SC的組合式激光干涉儀作為核心部件，主要用于GX檢測高精度平面，該產品包括光源、主機、成像以及鏡頭和相移等四大模塊，主要技術指標已達到國際YL水平，采用更加簡便操作的俯式測量，其擁有極高的JD測量精度PV和JD測量重復性RMS，并突破了一等平面平晶限制，且其采樣點可達上百萬像素，能客觀反映被測平面全貌。不僅測量精度高，而且具有極高的測量效率。此款干涉儀可廣泛應用高精度光學元件制造、計量檢測、生物醫(yī)學、航空航天、國防、微電子、能源等眾多領域，具有廣闊的市場前景。 無應力平面檢測干涉儀（數(shù)字化動態(tài)分析系列）是一款具有在振動環(huán)境下測試能力和共光路特點的斐索型激光干涉儀。該干涉儀經(jīng)過特殊的光學設計，配備慧利儀器自主開發(fā)的H&L Analysis 動態(tài)分析軟件，以及傳統(tǒng)激光干涉儀互配的各種附件，這使得該干涉儀在傳統(tǒng)技術無法進行測試的環(huán)境中，仍能提供高速穩(wěn)定的檢測。該產品不僅具有廣闊的市場前景，而且填補了制造業(yè)和國家質檢部門對高精度平面檢測設備需求的空白。

1、動鏡、定鏡框采用鋁質黑砂工藝，新型二維調節(jié)架調節(jié)，調節(jié)旋鈕M6X0.5mm銅質螺紋對應銅質座套，舒適靈活，耐磨損，用于演示和觀察干涉現(xiàn)象； 2、精密微調連續(xù)可調，動鏡測量范圍0-100mm； 3、微動手輪分度值為0.0001mm； 4、波長測量精度：當條紋計數(shù)為100時，測定單色光波長的相5、導軌直線性誤差為±16″； 6、分光板、補償板的平面度為λ/20； 7、移動鏡、參考鏡的平面度為λ/10，采用二維調節(jié)鏡架 包括：法布里-珀羅多光束系統(tǒng)

1、動鏡、定鏡框采用鋁質黑砂工藝，新型二維調節(jié)架調節(jié)，調節(jié)旋鈕M6X0.5mm銅質螺紋對應銅質座套，舒適靈活，耐磨損，用于演示和觀察干涉現(xiàn)象； 2、精密微調連續(xù)可調，動鏡測量范圍0-100mm； 3、微動手輪分度值為0.0001mm； 4、波長測量精度：當條紋計數(shù)為100時，測定單色光波長的相對誤差＜2%； 5、導軌直線性誤差為±16″； 6、分光板、補償板的平面度為λ/20； 7、移動鏡、參考鏡的平面度為λ/10，采用二維調節(jié)鏡架。