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本方案設(shè)計了一種高速熱膨脹儀用于固體試樣熱膨脹和熱收縮的高精度測量試樣長度的測量采用差分干涉法,具有0.3nm的分辨率和30nm的測量重復(fù)性溫度控制則采用感應(yīng)加熱和氣體冷卻方式實現(xiàn),Zda加熱速度約為100K/s,Zda冷卻速度為50K/s對于非導(dǎo)體試樣的加熱則在試樣周圍增加金屬環(huán)的間接加熱方式整個測試系統(tǒng)可以在不同氣氛環(huán)境下進(jìn)行運行,包括氧氣環(huán)境氣氛,Zda溫度可以達(dá)到1600 激光干涉法熱膨脹測試系統(tǒng)
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