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本文利用氮的等離子體的發(fā)射光譜對(duì)體積平均電子密度進(jìn)行檢測(cè)其中利用了BTC112E檢測(cè)其280nm-380nm的發(fā)射光譜,得到了比較好的結(jié)果 光纖耦合TE致冷CCD光譜儀 高速USB2.0/1.1 CCD 光譜儀

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