一、目的

二、試驗設(shè)備

1. 高溫老化試驗箱：具備精確的溫度控制、良好的溫度均勻性和穩(wěn)定性，能夠滿足半導(dǎo)體器件老化所需的高溫條件。

2. 測試儀器：如示波器、電源、多用表等，用于在老化前后對半導(dǎo)體器件進(jìn)行電性能測試。

三、試驗樣品

四、試驗條件

1. 溫度設(shè)置：根據(jù)半導(dǎo)體器件的規(guī)格和應(yīng)用要求，設(shè)置合適的老化溫度，通常在 125℃至 150℃之間。

2. 時間設(shè)定：老化時間一般為 96 小時至 168 小時。

3. 環(huán)境濕度：相對濕度控制在 5%至 20%之間。

五、試驗步驟

1. 試驗前準(zhǔn)備

• 對試驗樣品進(jìn)行初始電性能測試，記錄相關(guān)參數(shù)，如導(dǎo)通電壓、截止電流、放大倍數(shù)等。

• 將試驗樣品正確安裝在老化試驗箱的專用夾具上，確保良好的電氣連接和熱傳導(dǎo)。

2. 老化試驗

• 按照設(shè)定的溫度、濕度和時間條件啟動高溫老化試驗箱。

• 在老化過程中，定期（如每 24 小時）檢查試驗箱的運(yùn)行狀態(tài)和樣品的工作情況。

3. 試驗后檢測

• 老化結(jié)束后，將試驗樣品從試驗箱中取出，在室溫環(huán)境下放置 2 小時以上，使其恢復(fù)至常溫。

• 再次對試驗樣品進(jìn)行電性能測試，與初始測試數(shù)據(jù)進(jìn)行對比，分析性能變化。

六、結(jié)果評估

1. 根據(jù)測試數(shù)據(jù)，判斷半導(dǎo)體器件的性能是否在老化后仍滿足規(guī)定的技術(shù)指標(biāo)。

2. 統(tǒng)計失效樣品的數(shù)量和類型，計算老化篩選的失效率。

3. 分析失效原因，為改進(jìn)生產(chǎn)工藝和提高產(chǎn)品質(zhì)量提供依據(jù)。

七、注意事項

1. 操作人員應(yīng)熟悉試驗設(shè)備的操作方法和安全注意事項。

2. 試驗過程中應(yīng)確保試驗箱的通風(fēng)良好，防止因過熱導(dǎo)致設(shè)備故障或安全事故。

3. 對試驗數(shù)據(jù)進(jìn)行嚴(yán)格記錄和管理，以便后續(xù)分析和追溯。