電子束感生電流 (EBIC) 技術(shù)可通過(guò)測(cè)量樣品或設(shè)備暴露于電子束時(shí)流動(dòng)的電流，對(duì)半導(dǎo)體材料和設(shè)備的局部電氣性能進(jìn)行表征 電子束射到半導(dǎo)體上時(shí)，會(huì)形成電子空穴對(duì)如果載流子（即上文所述的電子空穴對(duì)）擴(kuò)散到帶有內(nèi)置電場(chǎng)的區(qū)域，則電子和空穴將分離，電流將流 動(dòng)當(dāng)電流流動(dòng)到外電路時(shí)，EBIC 技術(shù)會(huì)測(cè)量該電流在沒(méi)有重組ZX（自由電子和空穴湮沒(méi)的位置）的材料中，收集到的電流將是均勻的，而且并 不相關(guān)然而，引發(fā)電子和空穴重組的樣品區(qū)域減少了收集電流，造成 EBIC 圖中形成對(duì)比，因此揭示了半導(dǎo)體樣品中（少數(shù)）載流子的流動(dòng) Gatan 寬束氬離子拋光系統(tǒng) 697 Ilion II Gatan Mono CL4 高分辨成像與光譜分析陰極發(fā)光成像系統(tǒng) 鎢燈絲系列掃描電鏡 EVO MA 25/LS 25