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儀器網(wǎng)/ 應用方案/ 脈沖電子束產(chǎn)生的等離子體的時間分辨離子通量分析

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在相鄰電極的脈沖電子束產(chǎn)生的氬和氧的等離子體中，測量時間分辨離子的流量和能量分布氬離子和氧離子的能量和流量的時間變化，是跟等離子體的電子溫度和離子密度相關的氧等離子體的延遲時間要比氬的短這可以通過分析各種離子的損失機理來推斷 EQP等離子體質(zhì)量和能量分析質(zhì)譜儀

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