Sievers* M9e總有機(jī)碳（TOC）分析儀的“加壓集成在線取樣器（PiOS，Pressurized Integrated On-Line Sampler）”配件專用于加強(qiáng)微電子應(yīng)用中的超純水（UPW）系統(tǒng)的有機(jī)物監(jiān)測(cè)能力。在微電子應(yīng)用中（TOC通常小于5 ppb），監(jiān)測(cè)水質(zhì)的微小變化至關(guān)重要，能夠確保Z 終產(chǎn)品質(zhì)量和優(yōu)化處理工藝。

當(dāng)要監(jiān)測(cè)的濃度很低時(shí)，總碳（TC）和無(wú)機(jī)碳（IC）的值非常接近，因此TOC測(cè)量值（TOC = TC - IC）會(huì)受信噪等干擾因素的影響。周圍環(huán)境中的微氣泡就是這種干擾源之一，會(huì)導(dǎo)致意外的TOC峰值。PiOS能給分析儀中的樣品加壓3 - 5 psig，抑 制氣泡的形成，確保分析儀在低濃度下進(jìn)行準(zhǔn)確的分析。