北京燕京電子有限公司成立于1988年，注冊(cè)資金2124萬(wàn)元公司位于北京城東北部酒仙橋的中關(guān)村電子城科技園區(qū)內(nèi)，建筑面積2000多平方米，地理位置優(yōu)越，交通便利自成立22年以來(lái)，燕京電子一貫秉承以科技為先導(dǎo)，以服務(wù)為根本的宗旨，為科研院所和生產(chǎn)企業(yè)提供先進(jìn)的儀器設(shè)備及解決方案，以其良好的企業(yè)形象和品牌價(jià)值，發(fā)展成了業(yè)內(nèi)的儀器設(shè)備服務(wù)商之一燕京電子一直以科技先行者的姿態(tài)，將國(guó)際先進(jìn)的儀器技術(shù)和解決方案引入國(guó)內(nèi)，并 光學(xué)膜厚儀的使用及原理 光學(xué)薄膜測(cè)厚儀 (SpectraThick Series) 的核心技術(shù)介紹和原理說(shuō)明 SpectraThick series的特點(diǎn)是非接觸, 非破壞方式測(cè)量，無(wú)需樣品的前處理，軟件支持Windows操作系統(tǒng)等ST series是使用可視光測(cè)量wafer，glass等substrates上形成的氧化膜，氮化膜，Photo-resist等非金屬薄膜厚度的儀器 測(cè)量原理如下：在測(cè)量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可視光，這時(shí)光的一部分在膜的表面反射，另一部分透進(jìn)薄膜，然后在膜與底層 (wafer或glass)之間的界面反射這時(shí)薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產(chǎn)生干涉現(xiàn)象SpectraThick series就是利用這種干涉現(xiàn)象來(lái)測(cè)量薄膜厚度的儀器 儀器的光源使用Tungsten Lamp，波長(zhǎng)范圍是400 nm ~ 800 nm從ST2000到ST7000使用這種原理，測(cè)量面積的直徑大小是4m ~ 40m (2m ~ 20m optional)ST8000-Map作為K-MAC (株) Z主要的產(chǎn)品之一，有image processs功能，是超越一般薄膜厚度測(cè)量?jī)x器極限的新概念上的厚度測(cè)量?jī)x器測(cè)量面積的Z小直徑為0.2m，遠(yuǎn)超過(guò)一般厚度測(cè)量?jī)x器的測(cè)量極限 (4m)順次測(cè)量數(shù)十個(gè)點(diǎn)才能得到的厚度地圖 (Thickness Map) 也可一次測(cè)量得到，使速度和極ng確度都大大提高這一技術(shù)已經(jīng)申請(qǐng)ZL K-MAC (株) SpectraThick series的又一優(yōu)點(diǎn)是一般儀器無(wú)法測(cè)量的粗糙表面 (例如鐵板，銅板) 上形成的薄膜厚度也可以測(cè)量這是稱為VisualThick OS的新概念上的測(cè)量原理除測(cè)量薄膜厚度外還有測(cè)量透射率，玻璃上形成的ITO薄膜的表面電阻，接觸角度 (Contact Angle) 等的功能 產(chǎn)品說(shuō)明 本儀器是把UV-Vis光照在測(cè)量對(duì)象上，利用從測(cè)量對(duì)象中反射出來(lái)的光線測(cè)量膜的厚度的產(chǎn)品 這種產(chǎn)品主要用于研究開(kāi)發(fā)或生產(chǎn)導(dǎo)電體薄膜現(xiàn)場(chǎng)，特別在半導(dǎo)體及有關(guān)Display工作中作為 In-Line monitoring 儀器使用 產(chǎn)品特性 1) 因?yàn)槭抢霉獾姆绞?，所以是非接觸式，非破壞式，不會(huì)影響實(shí)驗(yàn)樣品 2) 可獲得薄膜的厚度和 n,k 數(shù)據(jù) 3) 測(cè)量迅速正確，且不必為測(cè)量而破壞或加工實(shí)驗(yàn)樣品 4) 可測(cè)量 3層以內(nèi)的多層膜 5) 根據(jù)用途可自由選擇手動(dòng)型或自動(dòng)型 6) 產(chǎn)品款式多樣，而且也可以根據(jù)顧客的要求設(shè)計(jì)產(chǎn)品 7)可測(cè)量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3 ) 8)Table Top型, 適用于大學(xué),研究室等 美國(guó)AST SE200BM/300BM系列 橢偏薄膜分析儀 美國(guó)AST橢偏儀 SE200BA/500BA系列 橢偏儀 SE200BA 美國(guó)AST光譜反射薄膜分析儀SR300 掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡 原子力顯微鏡 ST4000光學(xué)薄膜測(cè)厚儀 美國(guó)AST MSP300 顯微分光光度計(jì) 美國(guó)AST MSP500 顯微分光光度計(jì) 掃描隧道顯微鏡 光學(xué)薄膜測(cè)厚儀 ST4080-OSP 美國(guó)AST 橢偏薄膜分析儀 SE200-MSP 光譜反射薄膜測(cè)厚儀 SR500 MSP100 顯微分光光度計(jì) 光譜反射薄膜測(cè)厚儀SR100