橢圓偏振顯微實(shí)時(shí)成像分析技術(shù)是在傳統(tǒng)的消光（null）和離消光（off-null）橢圓偏振法基礎(chǔ)上，結(jié)合數(shù)字處理技術(shù)發(fā)展出來的旨在實(shí)時(shí)獲取納米尺度結(jié)構(gòu)的表面或界面信息和紀(jì)錄快速動(dòng)力學(xué)過程的測(cè)量和顯示技術(shù) 通過把橢圓偏振法與顯微鏡法相結(jié)合，橢偏光學(xué)成相系統(tǒng)保留了傳統(tǒng)橢偏法對(duì)厚度測(cè)量具有高靈敏度的優(yōu)點(diǎn)，并且具有測(cè)量面積大取樣速度快橫向分辨率高和結(jié)果直觀等優(yōu)點(diǎn)其平面精度已經(jīng)能夠達(dá)到1µm，立體精度已提高到0.1nm，為其進(jìn)入到生物分析和微電子等新的研究區(qū)域提供了可能