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2025-02-28 19:07:59無掩膜直寫光刻系統(tǒng)
無掩膜直寫光刻系統(tǒng)是一種無需掩模制作的光刻技術(shù),通過激光束直接對基片表面抗蝕材料實(shí)施變劑量曝光,形成預(yù)定圖形。它減少了誤差來源,提高了器件制作效率與精度,同時(shí)節(jié)省了掩模制作費(fèi)用。該技術(shù)廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、機(jī)械工程等領(lǐng)域,適用于微納器件、微電子等微加工領(lǐng)域研究,能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高速的微納加工。

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2023-06-14 16:49:45無掩膜直寫光刻系統(tǒng)助力二維材料異質(zhì)結(jié)構(gòu)電輸運(yùn)性能研究,意大利
期刊:ACS NanoIF:18.027文章鏈接: https://doi.org/10.1021/acsnano.1c09131 【引言】      MoS2是一種典型的二維材料,也是電子器件的重要組成部分。研究者發(fā)現(xiàn),當(dāng)MoS2與石墨烯接觸會(huì)產(chǎn)生van der Waals作用,使之具有良好的電學(xué)特性,可廣泛應(yīng)用于各類柔性電子器件、光電器件、傳感器件的研究。然而,MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)背后的電輸運(yùn)機(jī)理尚不明確。這主要是因?yàn)閭鹘y(tǒng)器件只有兩個(gè)接觸點(diǎn),不能將MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的電學(xué)輸運(yùn)特性與二維材料自身的電學(xué)特性所區(qū)分。此外,電荷轉(zhuǎn)移、應(yīng)變、電荷在缺陷處被俘獲等因素也會(huì)對器件的電輸運(yùn)性能產(chǎn)生影響,進(jìn)一步提高了相關(guān)研究的難度。盡管已有很多文獻(xiàn)報(bào)道MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電輸運(yùn)性能,但這些研究主要基于理論計(jì)算,缺乏對MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電輸運(yùn)性能在場效應(yīng)器件中的實(shí)驗(yàn)研究。 【成果簡介】     2021年,意大利比薩大學(xué)Ciampalini教授課題組利用小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)- MicroWriter ML3 制備出基于MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的多場效應(yīng)管器件,在場效應(yīng)管器件中直接測量了MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電輸運(yùn)特性。通過比較MoS2的跨導(dǎo)曲線和石墨烯的電流電壓特性,發(fā)現(xiàn)在n通道的跨導(dǎo)輸運(yùn)被抑制,這一現(xiàn)象明顯不同于傳統(tǒng)對場效應(yīng)的認(rèn)知。借助第一性原理計(jì)算發(fā)現(xiàn)這一獨(dú)特的輸運(yùn)抑制現(xiàn)象與硫空位相關(guān)。     本文中所使用的小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)- MicroWriter ML3無需掩膜版,可在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。設(shè)備采用集成化設(shè)計(jì),全自動(dòng)控制,可靠性高,操作簡便,同時(shí)其還具備結(jié)構(gòu)緊湊(70cm X 70cm X 70cm)、高直寫速度,高分辨率(XY:
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2023-06-29 10:11:54無掩膜直寫光刻系統(tǒng)助力二維材料異質(zhì)結(jié)構(gòu)電輸運(yùn)性能研究,意大利科學(xué)家揭秘其機(jī)理!
期刊:ACS NanoIF:18.027文章鏈接: https://doi.org/10.1021/acsnano.1c09131引言MoS2是一種典型的二維材料,也是電子器件的重要組成部分。研究者發(fā)現(xiàn),當(dāng)MoS2與石墨烯接觸會(huì)產(chǎn)生van der Waals作用,使之具有良好的電學(xué)特性,可廣泛應(yīng)用于各類柔性電子器件、光電器件、傳感器件的研究。然而,MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)背后的電輸運(yùn)機(jī)理尚不明確。這主要是因?yàn)閭鹘y(tǒng)器件只有兩個(gè)接觸點(diǎn),不能將MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的電學(xué)輸運(yùn)特性與二維材料自身的電學(xué)特性所區(qū)分。此外,電荷轉(zhuǎn)移、應(yīng)變、電荷在缺陷處被俘獲等因素也會(huì)對器件的電輸運(yùn)性能產(chǎn)生影響,進(jìn)一步提高了相關(guān)研究的難度。盡管已有很多文獻(xiàn)報(bào)道MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電輸運(yùn)性能,但這些研究主要基于理論計(jì)算,缺乏對MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電輸運(yùn)性能在場效應(yīng)器件中的實(shí)驗(yàn)研究。成果簡介2021年,意大利比薩大學(xué)Ciampalini教授課題組利用小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)- MicroWriter ML3 制備出基于MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的多場效應(yīng)管器件,在場效應(yīng)管器件中直接測量了MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電輸運(yùn)特性。通過比較MoS2的跨導(dǎo)曲線和石墨烯的電流電壓特性,發(fā)現(xiàn)在n通道的跨導(dǎo)輸運(yùn)被抑 制,這一現(xiàn)象明顯不同于傳統(tǒng)對場效應(yīng)的認(rèn)知。借助第 一性原理計(jì)算發(fā)現(xiàn)這一獨(dú)特的輸運(yùn)抑 制現(xiàn)象與硫空位相關(guān)。本文中所使用的小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)- MicroWriter ML3無需掩膜版,可在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。設(shè)備采用集成化設(shè)計(jì),全自動(dòng)控制,可靠性高,操作簡便,同時(shí)其還具備結(jié)構(gòu)緊湊(70cm X 70cm X 70cm)、高直寫速度,高分辨率(XY:
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2019-10-18 10:47:51小型無掩膜光刻直寫系統(tǒng)(MicroWriter)
    小型臺式無掩膜光刻直寫系統(tǒng)(MicroWriter ML3)是英國Durham Magneto Optics公司專為實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)開發(fā),為微流控、MEMS、半導(dǎo)體、自旋電子學(xué)等研究領(lǐng)域提供方便GX的微加工方案。傳統(tǒng)的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專業(yè)供應(yīng)商提供,但是在研發(fā)環(huán)境中,掩膜板的設(shè)計(jì)通常需要經(jīng)常改變。無掩膜光刻技術(shù)通過以軟件設(shè)計(jì)電子掩膜板的方法,克服了這一問題。與通過物理掩膜板進(jìn)行光照的傳統(tǒng)工藝不同,激光直寫是通過電腦控制DMD微鏡矩陣開關(guān),經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)調(diào)制,在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。同時(shí)其還具備結(jié)構(gòu)緊湊(70cm X 70cm X 70cm)、高直寫速度,高分辨率(XY:圖8. CsPbBr3 PNC/monolayer MoS2異質(zhì)結(jié)光電器件的制備流程,紅色框所示為利用無掩膜激光直寫系統(tǒng)(MicroWriter)所制備電極結(jié)構(gòu)示意 圖9. (左)利用MicroWriter制備的MoS2基器件的I-V特性曲線,其中所示單層MoS2形貌及表面電極;(右)MicroWriter虛擬掩膜功能(VMA)結(jié)果示意
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2025-01-09 12:45:13玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀怎么用
玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀怎么用:全面解析與操作指南 玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀是一種專業(yè)的測量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于玻璃材料以及其他薄膜材料的熱傳導(dǎo)性能測試。隨著科技的不斷發(fā)展,玻璃膜在建筑、汽車、電子產(chǎn)品等領(lǐng)域得到了越來越廣泛的應(yīng)用。為了確保其在不同環(huán)境下的表現(xiàn),測試其熱傳導(dǎo)性能成為了至關(guān)重要的一環(huán)。本文將詳細(xì)介紹玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀的使用方法,幫助您理解如何正確操作這一設(shè)備,以獲得準(zhǔn)確的測試結(jié)果。 玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀的基本結(jié)構(gòu)與原理 玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀的主要功能是測定薄膜材料的熱導(dǎo)率。它通常由溫度傳感器、加熱裝置、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)等幾個(gè)部分組成。測試原理基于熱傳導(dǎo)的基本定律,通過加熱玻璃膜的一個(gè)表面,監(jiān)測另一表面的溫度變化,進(jìn)而計(jì)算出熱導(dǎo)率。設(shè)備的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是保證測試結(jié)果可靠性的關(guān)鍵因素。 如何使用玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀 準(zhǔn)備工作 在使用玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀之前,首先要確認(rèn)設(shè)備的校準(zhǔn)情況。確保傳感器、加熱模塊和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)正常工作。然后,選擇合適的玻璃膜樣品,清潔其表面以避免污染物影響測試結(jié)果。 安裝樣品 將玻璃膜樣品安裝在測試儀的測試平臺上。樣品的位置需要固定,避免在測試過程中發(fā)生位移。通常測試儀會(huì)提供一對加熱和冷卻設(shè)備,用于模擬不同的溫度差,確保熱量傳導(dǎo)的測試環(huán)境準(zhǔn)確。 設(shè)置測試參數(shù) 根據(jù)需要測試的材料和實(shí)驗(yàn)條件,設(shè)置相應(yīng)的測試參數(shù)。這包括設(shè)定初始溫度、加熱時(shí)間、溫度梯度等。在設(shè)置過程中要特別注意溫度的均勻性,以確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性。 啟動(dòng)測試 啟動(dòng)測試程序后,測試儀將開始加熱樣品,并實(shí)時(shí)監(jiān)控另一側(cè)的溫度變化。根據(jù)測試儀的類型,數(shù)據(jù)可能會(huì)實(shí)時(shí)顯示在設(shè)備的屏幕上,或者通過軟件進(jìn)行記錄。部分高端設(shè)備還提供自動(dòng)分析功能,直接給出熱導(dǎo)率的數(shù)值。 數(shù)據(jù)分析與結(jié)果輸出 測試完成后,可以通過設(shè)備的內(nèi)置軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行進(jìn)一步分析。通常,熱導(dǎo)率的結(jié)果會(huì)以數(shù)值的形式輸出,您可以根據(jù)這些數(shù)據(jù)評估玻璃膜的熱導(dǎo)性能。部分設(shè)備還會(huì)生成測試報(bào)告,方便存檔和對比分析。 玻璃膜熱傳導(dǎo)測試的注意事項(xiàng) 在使用玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀時(shí),有幾個(gè)關(guān)鍵的注意事項(xiàng)需要特別關(guān)注: 樣品選擇:確保樣品的厚度和表面狀況符合測試要求。表面不平整或有氣泡的樣品可能導(dǎo)致誤差。 環(huán)境溫度:測試過程中,環(huán)境溫度的變化可能影響測試結(jié)果,最好在穩(wěn)定的環(huán)境下進(jìn)行測試。 設(shè)備校準(zhǔn):定期對測試儀進(jìn)行校準(zhǔn),確保測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。 結(jié)論 玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀在現(xiàn)代工業(yè)中具有重要的應(yīng)用價(jià)值,能夠精確評估玻璃膜等薄膜材料的熱傳導(dǎo)性能。正確使用該設(shè)備,不僅能夠提高測試效率,還能為材料性能優(yōu)化提供科學(xué)依據(jù)。掌握設(shè)備的使用方法和操作技巧,對于專業(yè)人員在進(jìn)行熱傳導(dǎo)測試時(shí)至關(guān)重要。
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2025-03-11 13:30:14膜片式壓力表參數(shù)有哪些?
膜片式壓力表參數(shù) 膜片式壓力表是一種常見的壓力測量儀器,廣泛應(yīng)用于工業(yè)、化工、食品加工等多個(gè)領(lǐng)域。其通過測量膜片的變形來判斷被測介質(zhì)的壓力大小。為了確保膜片式壓力表的準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性,選擇合適的參數(shù)至關(guān)重要。本文將詳細(xì)介紹膜片式壓力表的關(guān)鍵參數(shù)及其對測量結(jié)果的影響,幫助用戶在實(shí)際應(yīng)用中做出科學(xué)合理的選擇。 一、膜片式壓力表的工作原理與特點(diǎn) 膜片式壓力表的核心部分是一個(gè)彈性膜片,這個(gè)膜片安裝在壓力表的測量腔內(nèi),當(dāng)外部壓力作用于膜片時(shí),膜片會(huì)發(fā)生一定的變形。這個(gè)變形通過杠桿機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)換成機(jī)械指針的位移,顯示在表盤上。膜片式壓力表具有響應(yīng)靈敏、結(jié)構(gòu)簡單、適應(yīng)性強(qiáng)等特點(diǎn),尤其適用于低壓、密閉環(huán)境下的壓力測量。 二、膜片式壓力表的主要參數(shù) 量程范圍 量程是壓力表基本的參數(shù)之一,表示壓力表能夠測量的壓力范圍。膜片式壓力表的量程通常從幾百Pa到數(shù)百兆帕不等。用戶在選擇時(shí)需要根據(jù)實(shí)際測量的壓力范圍選擇合適的量程,過大的量程可能導(dǎo)致測量誤差,過小的量程可能導(dǎo)致無法承受較高壓力。 精度等級 精度等級是評定壓力表測量精度的重要指標(biāo)。一般情況下,膜片式壓力表的精度等級為1.0、1.6、2.5等,精度等級越小,表示壓力表的測量誤差越小。選購時(shí),應(yīng)根據(jù)實(shí)際測量要求和精度需求來選擇適合的精度等級。 接液材料 膜片式壓力表的接液部分直接與被測介質(zhì)接觸,因此接液材料的選擇非常關(guān)鍵。常見的接液材料有不銹鋼、銅合金、鋁合金等。對于腐蝕性較強(qiáng)的介質(zhì),應(yīng)選擇耐腐蝕性較好的材料,確保長期使用中的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。 工作溫度 膜片式壓力表的工作溫度范圍通常在-20℃至+60℃之間,但具體范圍可能會(huì)根據(jù)不同型號有所不同。過高或過低的溫度會(huì)影響膜片的變形程度,進(jìn)而影響測量精度。因此,在極端溫度環(huán)境下使用時(shí),必須選擇具有特殊耐溫性能的膜片式壓力表。 連接方式 膜片式壓力表的連接方式可以分為多種類型,如螺紋連接、法蘭連接等。選擇合適的連接方式需要考慮安裝環(huán)境和介質(zhì)的特點(diǎn)。例如,在高溫高壓環(huán)境下,法蘭連接通常更為牢固可靠。 三、膜片式壓力表的應(yīng)用與選擇要點(diǎn) 在實(shí)際應(yīng)用中,膜片式壓力表廣泛用于測量液體、氣體等介質(zhì)的壓力。其設(shè)計(jì)適應(yīng)性強(qiáng),特別適合用于具有低壓、脈動(dòng)壓力、低粘度等特性的介質(zhì)測量。選擇膜片式壓力表時(shí),首先要根據(jù)測量介質(zhì)的特性、工作環(huán)境的溫度及壓力范圍來確定合適的參數(shù),并且確保壓力表的精度和穩(wěn)定性能夠滿足生產(chǎn)需求。 四、結(jié)論 膜片式壓力表作為一種重要的壓力測量工具,其參數(shù)的選擇直接影響到測量結(jié)果的準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性。在選擇時(shí),必須充分考慮量程、精度、接液材料、工作溫度等因素。通過科學(xué)合理的選擇,可以確保膜片式壓力表在實(shí)際應(yīng)用中的佳性能。
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