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2025-01-21 09:33:29氧化鋁漿料
氧化鋁漿料是由氧化鋁粉末分散在液體介質(zhì)中形成的漿料。它具有良好的耐高溫、耐腐蝕、高硬度等特性。氧化鋁漿料廣泛應(yīng)用于陶瓷制備,可提高陶瓷材料的強(qiáng)度和耐磨性;也用作磨料,用于拋光和研磨過程;還可用于制備涂層,提供優(yōu)異的防腐和耐磨性能。其成分和特性的調(diào)控對(duì)于滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域的需求至關(guān)重要。

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2023-06-29 10:32:01二氧化鈰 CMP 漿料監(jiān)測(cè)
全文共 1490 字,閱讀大約需要 5 分鐘化學(xué)機(jī)械拋光/平坦化 (CMP) 是微電子行業(yè)廣泛使用的一種工藝,通過化學(xué)力和機(jī)械力來進(jìn)行平坦化處理。該工藝使用磨料和腐蝕性漿料來幫助平坦化晶圓表面。漿料的粒度分布是控制平坦化工藝成功的關(guān)鍵參數(shù)。氧化鈰 (ceria) 的漿料廣泛地應(yīng)用于集成電路 (IC) 制造的各種 CMP工藝中,本應(yīng)用說明記錄了 AccuSizer? Mini FX 準(zhǔn)確測(cè)量二氧化鈰 CMP 漿料的平均粒徑和濃度,并檢查是否存在尾端大粒子的實(shí)際案例。1、簡(jiǎn)介CMP 工藝和 CMP 漿料廣泛用于微電路制造過程中的拋光流程,CMP 漿料的性能對(duì)于提高設(shè)備產(chǎn)量至關(guān)重要,需要定期測(cè)量漿料的粒度分布 (PSD)。除測(cè)量平均粒徑之外,還應(yīng)對(duì)尾端大顆粒的存在(即遠(yuǎn)離主峰的較大顆粒的濃度)進(jìn)行測(cè)量。這些尾端可能來自工藝過程中的污染物,由于化學(xué)變化、CMP 輸送系統(tǒng)或施加的剪切力而導(dǎo)致的聚集。晶圓中缺陷與劃痕的數(shù)目與尾端大顆粒計(jì)數(shù) (LPC) >0.5-1 μm 有關(guān),理想的表征系統(tǒng)應(yīng)提供準(zhǔn)確的 LPC 值。2、顆粒粒徑/計(jì)數(shù)技術(shù)有許多顆粒表征技術(shù)可用于測(cè)量 CMP 漿料中顆粒的粒徑分布。包括動(dòng)態(tài)光散射 (DLS) 和激光衍射在內(nèi)的光散射技術(shù)可以測(cè)量粒徑大小和粒徑分布,但不能提供任何有用的濃度信息。單顆粒光學(xué)技術(shù) (SPOS) 在顆粒通過狹窄的測(cè)量室時(shí)一次測(cè)量一個(gè)顆粒,從而提供準(zhǔn)確的粒徑和濃度(顆粒/mL)結(jié)果。SPOS 本質(zhì)上是一種高分辨率的技術(shù),能夠檢測(cè)從偏離主峰的尾端大粒子分布。它常用來檢測(cè)尾端大粒子濃度和數(shù)量,而 LPC 是 CMP 漿料造成晶圓缺陷和劃痕的主要原因。AccuSizer ? Mini可以在實(shí)驗(yàn)室中使用,也可以在線點(diǎn)對(duì)點(diǎn)使用。3、ACCUSIZER MINI AccuSizer 多年來一直被 CMP 漿料制造商和最 終用戶用來檢測(cè)尾端大顆粒是否存在,根據(jù)漿料的不同,可以選擇直接進(jìn)行測(cè)量,也可以通過自動(dòng)稀釋來優(yōu)化分析條件。上圖所示的 AccuSizer Mini FX 系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于檢測(cè)較小尾端大顆粒和高濃度樣品。FX 傳感器使用聚焦光束來減少檢測(cè)的總體積,從而提高傳感器的濃度限制,通常無需稀釋即可進(jìn)行測(cè)量。FX 傳感器可測(cè)量 0.65–20 μm 的顆粒,其濃度比標(biāo)準(zhǔn)消光/遮光或散射傳感器高 200 倍。結(jié)果最多可以顯示在 512 個(gè)大小的通道中。AccuSizer Mini系統(tǒng)是完全自動(dòng)化的,專為滿足生產(chǎn)線的要求而設(shè)計(jì)。內(nèi)置的觸摸屏電腦控制著操作。用戶連接化學(xué)機(jī)械拋光液的旁路、過濾后的去離子水(如有必要,用于清洗和稀釋)、50兆帕的空氣管路以控制氣動(dòng),以及排泄管路。4、使用的樣品本研究使用了兩個(gè)二氧化鈰樣品;二氧化鈰 A 具有較小的尾端大顆粒,二氧化鈰B具有較大的尾端大顆粒。5、結(jié)果對(duì)二氧化鈰 A 進(jìn)行了四次分析,以確定基礎(chǔ)樣品中顆粒的尺寸分布和濃度。四次分析的結(jié)果如圖 1 所示(濃度為線性標(biāo)度)和圖 2(濃度為對(duì)數(shù)標(biāo)度)。圖 1. 二氧化鈰 A濃度,線性標(biāo)度圖 2. 二氧化鈰 A,對(duì)數(shù)標(biāo)度接下來,二氧化鈰A 中摻入約 1000000  顆粒/mL 的 1.36μm 聚苯乙烯乳膠 (PSL) 標(biāo)準(zhǔn)顆粒,以證明檢測(cè)大顆粒的能力。結(jié)果如圖 3 和圖 4 所示。圖 3. 二氧化鈰A(紅色)+ 1.36 μm PSL 尖峰(黑色)圖 4. 與圖 3 相同,但 y 軸擴(kuò)展 8 倍然后,在二氧化鈰 A 中摻入 1%(圖 5)和 10%(圖 6)的二氧化鈰 B,后者含有較長(zhǎng)尾端大顆粒。圖 5 和圖 6 中的結(jié)果顯示了 AccuSizer 對(duì)尾端大顆粒的敏感性以及良好的重復(fù)性。圖 5. 二氧化鈰 A 添加了 1% 二氧化鈰B圖 6. 二氧化鈰A 添加了 10% 二氧化鈰 B6、結(jié)論這些結(jié)果證實(shí) AccuSizer Mini FX 是一種準(zhǔn)確、易于使用的分析工具,可檢測(cè)低濃度 LPC 顆粒的存在。該系統(tǒng)可在實(shí)驗(yàn)室或工廠中使用。Mini FX 分析儀可以位于流程中的任何位置,通常放置在最 終過濾器之后,在漿料與拋光工具中的晶片接觸之前進(jìn)行監(jiān)測(cè),如圖7所示。圖 7. 晶圓加工過程中的 AccuSizer Mini
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2022-04-24 16:42:23納米多孔氧化鋁
本品為化學(xué)法合成的白色球形粉末,無重金屬、 無放射性元素。物理指標(biāo)①晶相 γ相②AI2O3含量 ≥99.9③ 介孔 0.38④ 原晶粒度 50-60納米化學(xué)指標(biāo)①本品用于噴墨打印紙的涂層, 為紙張?zhí)岣吖鉂?。②増加涂料的耐磨性,具有助流?提高上粉率、防結(jié)塊等特點(diǎn)應(yīng)用范圍①導(dǎo)熱硅膠②電子灌封膠③粉末涂料公眾號(hào)搜索粉體圈,聯(lián)系報(bào)價(jià)。聯(lián)系方式:400-869-9320轉(zhuǎn)8990更多信息進(jìn)入店鋪查看:https://www.360powder.com/shop.html?shop_id=1727
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2022-08-24 11:55:42低場(chǎng)核磁技術(shù)研究漿料小顆粒團(tuán)聚
低場(chǎng)核磁技術(shù)研究漿料小顆粒團(tuán)聚漿料小顆粒團(tuán)聚可分為三種狀態(tài):凝聚體:指以面相接的原級(jí)粒子,其表面積比其單個(gè)粒子組成之和小得多,這種狀態(tài)再分散十分困難。附聚體:指以點(diǎn)、角相接的原級(jí)粒子團(tuán)族或小顆粒在大顆粒上的附著,其總表面積比凝聚體大,但小于單個(gè)粒子組成之和,再分散比較容易。凝聚體和附聚體也稱二次粒子。絮凝:指由于體系表面積的增加、表面能增大,為了降低表面能而生成的更加松散的結(jié)構(gòu)。一般是由于大分子表面活性劑或水溶性高分子的架橋作用,把顆粒串聯(lián)成結(jié)構(gòu)松散似棉絮的團(tuán)狀物。在這種結(jié)構(gòu)中,離子間的距離比凝聚體或附聚體大得多。顆粒在液體中的團(tuán)聚與分散顆粒表面濕潤(rùn)性對(duì)粉體的分散具有重要意義,是粉體分散、固液分離、表面改性和造粒等工藝的理論基礎(chǔ)。固體顆粒被液體潤(rùn)濕的過程主要基于顆粒表面的潤(rùn)濕性。固體表面的濕潤(rùn)性由其化學(xué)組成和微觀結(jié)構(gòu)決定。固體表面自由能越大,越容易被液體濕潤(rùn);反之亦然。因而,尋求和制備高表面自由能的固體表面成為制備超親水表面和超疏水表面的前提條件。低場(chǎng)核磁技術(shù)研究漿料小顆粒團(tuán)聚的基本原理:對(duì)于潤(rùn)濕的顆粒體系,顆粒表面會(huì)附著一層液相分子,這些液相分子因無機(jī)相表面的吸附作用而運(yùn)動(dòng)受限。但未與顆粒相接觸的液相分子運(yùn)動(dòng)是自由的,液相分子的馳豫時(shí)間(relaxation time)與它所處的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)密切相關(guān),自由狀態(tài)的液相分子的核磁馳豫時(shí)間要比束縛狀態(tài)的液相分子的馳豫時(shí)間長(zhǎng)得多,顆粒分散性更好的體系吸附溶劑量相對(duì)更多,弛豫時(shí)間也就更短。因此,可以利用低場(chǎng)核磁共振技術(shù)來測(cè)量懸浮液體系的馳豫時(shí)間,并計(jì)算顆粒的濕潤(rùn)比表面積(可利用的吸附表面積),進(jìn)而用來研究顆粒的團(tuán)聚狀態(tài)、分散性穩(wěn)定性、親和性以及潤(rùn)濕性等問題。
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2023-05-29 14:26:00納米氧化鋁改性聚合物基復(fù)合填縫料工作性能及變形性能研究
HS-3001B電子拉力試驗(yàn)機(jī)適用于尋求材料力與形變關(guān)系的實(shí)驗(yàn),可對(duì)金屬,非金屬的原材料、加工件、成品進(jìn)行拉伸、彎曲、剝離、壓縮、壓陷、附著力、撕裂等多項(xiàng)力學(xué)實(shí)驗(yàn)及分析。納米氧化鋁改性聚合物基復(fù)合填縫料工作性能及變形性能研究納米氧化鋁改性聚合物基復(fù)合填縫料工作性能及變形性能研究上海和晟 HS-3001B 電子拉力試驗(yàn)機(jī)
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2021-09-09 15:02:52AL-N中性氧化鋁固相萃取柱 6ml
AL-N中性氧化鋁固相萃取柱 6ml;填料克重:1000mg;柱規(guī)格:6ml本生生物公司供應(yīng):熒光定量PCR耗材,ELISA試劑盒,動(dòng)物血清,熒光定量PCR耗材,移液器吸嘴,微量離心管,進(jìn)口凍存管,細(xì)胞培養(yǎng)皿,培養(yǎng)板,培養(yǎng)瓶,進(jìn)口吸頭,儀器及手套,色譜耗材,針頭過濾器,分光光度計(jì)。AL-N中性氧化鋁固相萃取柱;填料克重:1000mg;柱規(guī)格:6mlAL-N中性氧化鋁固相萃取柱 6ml【貨號(hào)】ALN-06-1000mg【描述】AL-N中性氧化鋁固相萃取柱;填料克重:1000mg;柱規(guī)格:6ml【應(yīng)用領(lǐng)域】萃取/分離/濃縮【包裝】30個(gè)/盒注:產(chǎn)品僅用于科研實(shí)驗(yàn)!
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s-SNOM
實(shí)驗(yàn)自動(dòng)化
淬火熱處理
密閉高低溫循
電學(xué)特性測(cè)試
石油裂解氫
生物柴油氧化
氧化產(chǎn)物組分
CPC認(rèn)證
裂解氫含量
裂化氫含量
鋰電池測(cè)試系
磁滯測(cè)功機(jī)
微生物計(jì)數(shù)
直寫光刻系統(tǒng)
電解液親和性
閣樓式貨架
六軸位移臺(tái)
光學(xué)浮區(qū)爐
rohs認(rèn)證
電渦流測(cè)功機(jī)
高速激光熔覆
機(jī)載高光譜相
人造草坪檢測(cè)
激光淬火設(shè)備
兒童服裝檢測(cè)
紅外氣體分
電子電器認(rèn)證
CE認(rèn)證機(jī)構(gòu)
CCC認(rèn)證
紡織品檢測(cè)
在線監(jiān)測(cè)儀
服裝檢測(cè)報(bào)告
耳機(jī)CE認(rèn)證
3C認(rèn)證報(bào)告
密閉制冷加熱