- 2025-04-14 13:36:10EVG720自動(dòng)化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統(tǒng)
- 長(zhǎng)達(dá) 150 毫米的自動(dòng)化全場(chǎng)紫外納米壓印解決方案,采用 EVG 專有的 SmartNIL 技術(shù)。
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納米壓印資訊
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- 岱美儀器拿到客戶1臺(tái)接觸式光刻機(jī)帶納米壓印功能EVG610的訂單
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納米壓印文章
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- EVG——納米壓印光刻系統(tǒng)介紹
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- 基于NX-2000的四英寸光固化納米壓印光刻技術(shù)研究
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- 用于增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)波導(dǎo)制造的納米壓印光刻技術(shù)(一)
- 晶圓級(jí)納米壓印光刻(NIL)正日益成為一項(xiàng)關(guān)鍵使能技術(shù),用于支持眾多市場(chǎng)中各類新型器件和應(yīng)用的發(fā)展。增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)(AR)設(shè)備、光學(xué)傳感器以及生物醫(yī)學(xué)芯片的領(lǐng)先制造商已開始采用NIL技術(shù),并從中獲益
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- 用于增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)波導(dǎo)制造的納米壓印光刻技術(shù)(三)
- 納米壓印光刻(NIL)近年來(lái)已從一種主要用于研發(fā)和利基市場(chǎng)的技術(shù),發(fā)展成為推動(dòng)新興產(chǎn)業(yè)趨勢(shì)的關(guān)鍵變革性技術(shù)。特別是增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)波導(dǎo)器件,其進(jìn)入消費(fèi)市場(chǎng)依賴于復(fù)雜結(jié)構(gòu)的高效制造能力以及相應(yīng)的生產(chǎn)成本優(yōu)勢(shì)。
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- 用于增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)波導(dǎo)制造的納米壓印光刻技術(shù)(二)
- 為了將生產(chǎn)規(guī)模擴(kuò)大至大批量,必須為晶圓級(jí)壓印工藝提供充足的母版。為此,采用了“步進(jìn)與重復(fù)”母版制作技術(shù)。先在4英寸硅片上制備單芯片硬母版,再通過多次復(fù)制將其圖案轉(zhuǎn)移到200毫米或300毫米晶圓上,從而形成覆蓋整個(gè)晶圓區(qū)域的全尺寸母版。
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