磁控濺射儀為一種用于物理學(xué)領(lǐng)域的分析儀器，于2015年05月25日啟用。

磁控濺射為物理氣相沉積的一種。金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料的制備通常會(huì)采用一般的濺射法，其的特點(diǎn)為有著較為簡(jiǎn)單的設(shè)備，控制起來(lái)不困難，有著較大的鍍膜面積以及有著較強(qiáng)的附著力等。在上世紀(jì) 70 年代發(fā)展起來(lái)的磁控濺射法更是使高速、低溫、低損傷得以實(shí)現(xiàn)。由于高速濺射是在低氣壓下進(jìn)行，必須要使氣體的離化率得到有效地提高。磁控濺射利用將磁場(chǎng)往靶陰極表面引入，通過(guò)磁場(chǎng)約束帶電粒子來(lái)使得等離子體密度提高進(jìn)而使得濺射率增加。

磁控濺射儀維護(hù)與保養(yǎng)

1、在遭遇抽不上前級(jí)真空時(shí)，不僅要對(duì)前級(jí)管道及電磁閥的泄露盡可能排除以外，需要對(duì)機(jī)械泵是否油不夠或油質(zhì)變劣機(jī)械能檢查，需要對(duì)油標(biāo)定期查看，及時(shí)對(duì)新油進(jìn)行加注或更換。也需要定期檢查分子泵。

2、長(zhǎng)時(shí)間鍍膜，對(duì)熱絲引線(xiàn)、陶瓷管、照明烘烤燈引線(xiàn)或測(cè)溫?zé)崤继沾晒苓M(jìn)行加熱容易被鍍膜,表面金屬化，甚至起不到絕緣作用，這時(shí)應(yīng)當(dāng)在大氣中暴露，將陶瓷管卸下，在雙氧水溶劑的燒杯中放置，使用電爐加熱，煮40分鐘就可以。

3、在對(duì)設(shè)備運(yùn)行一段時(shí)間以后，若發(fā)生真空度下降的情況，為了使更換膠圈,擰緊螺絲更為方便和及時(shí)，應(yīng)當(dāng)對(duì)各發(fā)蘭密封口是否有膠圈老化及螺絲松動(dòng)現(xiàn)象及時(shí)地進(jìn)行檢查。

4、如果磁控靶不起輝，一定要對(duì)永磁靶表面場(chǎng)強(qiáng)是否下降太多進(jìn)行檢查，若下降太多，需要對(duì)磁鋼進(jìn)行更換。二是要對(duì)靶電源是否有故障進(jìn)行檢查。三是要對(duì)起輝濺射真空度與前次的差別進(jìn)行檢查，對(duì)不同靶材進(jìn)行更換，起輝壓強(qiáng)也不相同。