磁控濺射儀為一種用于物理學(xué)領(lǐng)域的分析儀器，于2015年05月25日啟用。

磁控濺射為物理氣相沉積的一種。金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料的制備通常會采用一般的濺射法，其的特點(diǎn)為有著較為簡單的設(shè)備，控制起來不困難，有著較大的鍍膜面積以及有著較強(qiáng)的附著力等。在上世紀(jì) 70 年代發(fā)展起來的磁控濺射法更是使高速、低溫、低損傷得以實(shí)現(xiàn)。由于高速濺射是在低氣壓下進(jìn)行，必須要使氣體的離化率得到有效地提高。磁控濺射利用將磁場往靶陰極表面引入，通過磁場約束帶電粒子來使得等離子體密度提高進(jìn)而使得濺射率增加。

磁控濺射儀開機(jī)前的準(zhǔn)備工作

1、將水閥開動，將冷水接通，對水壓足夠大與否以及水壓控制器起作用與否進(jìn)行檢查，從而使水路暢通得到保證。

2、對總供電電源配線完好與否，地線接好與否以及所有儀表電源開關(guān)處于關(guān)閉狀態(tài)與否進(jìn)行檢查

3、對分子泵、機(jī)械泵油是否到標(biāo)注線進(jìn)行檢查。

4、對系統(tǒng)所有的閥門是否全部處于關(guān)閉狀態(tài)進(jìn)行檢查，從而使磁控濺射室完全處在抽真kong前封閉狀態(tài)得以確定。

磁控濺射儀關(guān)閉過程

1、在濺射結(jié)束以后，將V2關(guān)閉，再將V7關(guān)閉，將流量計(jì)關(guān)閉，將高壓閥關(guān)閉，將低壓閥關(guān)閉，完全打開插板閥。

2、將真空計(jì)關(guān)閉。

3、將分子泵的STOP按下，等到分子泵的頻率下降到200赫茲以下，將插板閥G完全關(guān)閉。

4、等到分子泵頻率下降到00赫茲之時(shí)，將OFF鍵按下，將分子泵關(guān)掉（會有聲響）。

5、將電磁閥DF關(guān)閉，將機(jī)械泵關(guān)閉。

6、關(guān)閉總控制電源,關(guān)閉冷卻水