離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔，之后試樣復(fù)原，再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。

離子濺射儀濺射需要：

1、離子濺射儀濺射材料

金為較為常用的濺射材料，其有著較高的導(dǎo)電性。噴金儀擁有越高的真空度，就會濺射越小的金屬顆粒，能夠使得樣品表面形貌失真的情況減少。當(dāng)需要超高分辨率成像時，高真空噴金儀被shou先選擇，同時如鉻，銥等其它濺射材料也能夠被選用，有著更為細小的濺射的晶粒。

2、離子濺射儀需要濺射噴金的樣品：

（1）、一類樣品為非導(dǎo)電的樣品，因為樣品不導(dǎo)電，“電子陷阱”為其表面所帶有，該種表面上的電子積累被叫做“充電”。為了使得荷電效應(yīng)消除，能夠?qū)⒁粚咏饘賹?dǎo)電層鍍在樣品表面，鍍層作為一個導(dǎo)電通道，從材料表面將充電電子轉(zhuǎn)移走，使荷電效應(yīng)消除。在掃描電鏡成像時，濺射材料能夠使信噪比增加，從而使更好的成像質(zhì)量獲得。

（2）另外一類樣品為電子束敏感的樣品，生物樣品，塑料樣品等為所包含的主要樣品，較高能量為SEM中的電子束所具有，在和樣品的相互作用過程中，其將部分能量通過熱的形式傳遞給樣品。若樣品為對電子束敏感的材料，那該種相互作用會對部分甚至整個樣品結(jié)構(gòu)加以破壞。該種情況下，一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層被采用就能夠使得對鍍層的保護作用起到，使得該類損傷得以避免。