俄歇電子能譜，英文名Auger electron spectroscopy，AES是它的簡稱，是一種材料科學(xué)與表面科學(xué)的分析技術(shù)。俄歇電子能譜之所以如此命名是因為該技術(shù)主要通過俄歇效應(yīng)進行分析。其他外層電子吸收受激發(fā)的原子的外層電子跳到低能階所放出的能量從而使其從原子逃脫離開，這一連串事件叫做俄歇效應(yīng)，俄歇電子則為逃脫出來的電子。

電子能量分析器

電子能量分析器為AES的心臟，對不同的動能的電子收集并分開為其的主要作用。因為俄歇電子具有非常低的能量，所以儀器所需的靈敏度必須采用特殊的裝置才能達到。一種叫作筒鏡分析器的裝置被大量的俄歇譜儀所使用。

兩個同心的圓筒為分析器的主體，內(nèi)筒以及樣品同時接地，將一個負的偏轉(zhuǎn)電壓往外筒上施加，有圓環(huán)狀的電子入口和出口在內(nèi)筒上開著，既能夠在鏡筒分析器外放激發(fā)電子槍，也能夠在鏡筒分析器的內(nèi)腔中放激發(fā)電子槍。品上發(fā)射的具有一定能量的電子由入口位置往兩圓筒夾層進入，由于有偏轉(zhuǎn)電壓加在外筒上，zui后使得電子由出口往檢測器中進入。如果對外筒上的偏轉(zhuǎn)電壓進行的不斷的改變，就使得不同能量的俄歇電子能夠在檢測器上依次接收到。從能量分析器輸出的電子分別從電子倍增器、前置放大器經(jīng)過以后再去往脈沖計數(shù)器，zui后使得俄歇譜俄歇電子數(shù)目N隨電子能量E的分布曲線在X-Y記錄儀或者熒光屏顯示。

如果結(jié)合筒鏡分析器與電子束掃描電路，能夠使得俄歇顯微鏡形成。

電子槍有著類似于掃描電鏡的工作方式，掃描系統(tǒng)控制能夠使得同步掃描在樣品上和顯像管熒光屏上，電子倍增器對筒鏡分析器探測到的俄歇電子信號進行放大以后用來調(diào)制熒光屏光柵，這樣就能夠使得俄歇電子像獲得。