俄歇電子能譜，英文名Auger electron spectroscopy，AES是它的簡稱，是一種材料科學(xué)與表面科學(xué)的分析技術(shù)。俄歇電子能譜之所以如此命名是因?yàn)樵摷夹g(shù)主要通過俄歇效應(yīng)進(jìn)行分析。其他外層電子吸收受激發(fā)的原子的外層電子跳到低能階所放出的能量從而使其從原子逃脫離開，這一連串事件叫做俄歇效應(yīng)，俄歇電子則為逃脫出來的電子。

電子光學(xué)系統(tǒng)

偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)（偏轉(zhuǎn)線圈）、電子束聚焦（電磁透鏡）以及電子激發(fā)源（熱陰極電子槍）為電子光學(xué)系統(tǒng)的主要組件。束直徑、束流強(qiáng)度以及入射電子束能量為電子光學(xué)系統(tǒng)主要的三個指標(biāo)。當(dāng)中，入射電子束的zui小束斑直徑基本上決定了AES分析的zui小區(qū)域。束流強(qiáng)度決定了探測靈敏度。這兩個指標(biāo)一般會有些矛盾，因?yàn)槭鲿S著為束徑變小而顯著下降，所以通常折中是必要的。

俄歇表面分析

俄歇電子在固體中運(yùn)行，頻繁的非彈性散射也同樣要經(jīng)歷，僅僅只有表面幾層原子所產(chǎn)生的俄歇電子可以從固體表面逸出。這些電子的能量基本上在10～500電子伏。所以固體的表面層是俄歇電子能譜wei一所考察的對象。俄歇電子能譜的輻射源一般使用電子束，電子束能夠聚焦、掃描，所以俄歇電子能譜能夠作表面微區(qū)分析，并且俄歇元素像能夠直接從熒光屏上獲得。其為近代考察固體表面的強(qiáng)有力工具，在各種材料分析以及催化、吸附、腐蝕、磨損等方面的研究得到了非常廣泛的運(yùn)用。