掃描電鏡是一種用于放大并觀察物體表面結(jié)構(gòu)的電子光學(xué)儀器。由鏡筒、電子信號(hào)的收集和處理系統(tǒng)、電子信號(hào)的顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)等組成，具有放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點(diǎn)。

掃描電鏡常見(jiàn)功能

　　1、觀察納米材料

　　尺寸在0.1nm-100nm范圍內(nèi)掃描電鏡重要特點(diǎn)是具有很高的分辨率。

　　2、材料斷口的分析

　　景深大，圖象富立體感，焦深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學(xué)顯微鏡大幾百倍。掃描電鏡顯示出來(lái)的斷口形貌從深層次，高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì)，在教學(xué)、科研和生產(chǎn)中，有不可替代的作用。

　　3、直接觀察原始表面

　　掃描電鏡直接觀察直徑80mm，高35mm，或更長(zhǎng)尺寸的試樣，對(duì)試樣的形狀沒(méi)有任何限制，粗糙表面也能觀察，這便免除了制樣的麻煩，而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背反射電子象)。

　　4、觀察厚試樣

　　其在觀察厚試樣時(shí)，能得到高的分辨率和Z真實(shí)的形貌。掃描電鏡的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間，但在對(duì)厚塊試樣的觀察進(jìn)行比較時(shí)，因?yàn)樵谕干潆娮语@微鏡中還要采用復(fù)膜方法，而復(fù)膜的分辨率通常只能達(dá)到10nm，且觀察的不是試樣本身，因此，用掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利。

　　5、觀察各個(gè)區(qū)域的細(xì)節(jié)

　　其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2-3cm，故實(shí)際上只許可試樣在兩度空間內(nèi)運(yùn)動(dòng)，但在掃描電鏡中則不同，可以讓試樣在三度空間內(nèi)6個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)，且可動(dòng)范圍大，這對(duì)觀察不規(guī)則形狀試樣的各個(gè)區(qū)域帶來(lái)極大方便。

　　6、從高到低倍的連續(xù)觀察

　　掃描電鏡的放大倍數(shù)范圍很寬(從30到15萬(wàn)連續(xù)可調(diào))，且一次聚焦好后即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續(xù)觀察，不用重新聚焦，這對(duì)進(jìn)行事故分析特別方便。

　　7、觀察生物試樣

　　因電子照射而發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小。同其他方式的電子顯微鏡比較，因?yàn)橛^察時(shí)所用的電子探針電流小，電子探針的束斑尺寸小，能量小，而且不是固定一點(diǎn)照射試樣

　　由于掃描電鏡具有上述特點(diǎn)和功能，所以越來(lái)越多受到科研人員的重視，用途日益廣泛?，F(xiàn)在掃描電鏡已廣泛用于材料科學(xué)、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲(chóng)害的FZ、災(zāi)害鑒定、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。

掃描電鏡應(yīng)用領(lǐng)域

　　1、掃描電鏡在材料研究中的應(yīng)用

　　掃描電鏡材料的組織形貌觀察、層表面形貌分析和深度檢測(cè)、區(qū)化學(xué)成分分析和微組織及超微尺寸材料的研究。例如：掃描電鏡在新型陶瓷材料顯微分析中的應(yīng)用。在陶瓷的制備過(guò)程中，進(jìn)行顯微結(jié)構(gòu)的分析，原始材料及其制品的顯微形貌、孔隙大小、晶界和團(tuán)聚程度等將決定其Z后的性能。掃描電鏡可以清楚地反映和記錄這些微觀特征，是觀察分析樣品微觀結(jié)構(gòu)方便、易行的有效方法，樣品無(wú)需制備，只需直接放入樣品室內(nèi)即可放大觀察;同時(shí)掃描電鏡可以實(shí)現(xiàn)試樣從低倍到高倍的定位分析，在樣品室中的試樣不僅可以沿三維空間移動(dòng)，還能夠根據(jù)觀察需要進(jìn)行空間轉(zhuǎn)動(dòng)，以利于使用者對(duì)感興趣的部位進(jìn)行連續(xù)、系統(tǒng)的觀察分析。

　　2、掃描電鏡在生物、醫(yī)學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用

　　在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域可以利用高性能的電子顯微鏡觀察細(xì)胞中各種正常的和病理的超微結(jié)構(gòu)，諸如內(nèi)質(zhì)網(wǎng)、線粒體、高爾基體、溶酶體、細(xì)胞骨架系統(tǒng)等，對(duì)探明病因和ZL疾病有很大幫助?？梢匝芯考?xì)胞的通訊與運(yùn)輸、分裂與分化、增殖與調(diào)控等生命活動(dòng)的規(guī)律，電子顯微鏡也可結(jié)合各種制樣技術(shù)觀察病毒、細(xì)菌、支原體、生物大分子等的超微結(jié)構(gòu)，是現(xiàn)代生物醫(yī)學(xué)研究不可替代的工具。

　　3、掃描電鏡與其他設(shè)備的組合以實(shí)現(xiàn)多種分析

　　目前掃描電鏡的Z主要組合分析功能有：

　　①X射線顯微分析系統(tǒng)：(即能譜儀，EDS)，主要用于元素的定性和定量分析，并可分析樣品微區(qū)的化學(xué)成分等信息。

　　②電子背散射系統(tǒng)(即結(jié)晶學(xué)分析系統(tǒng))，主要用于晶體和礦物的研究。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展，其他一些掃描電鏡組合分析功能也相繼出現(xiàn)，例如顯微熱臺(tái)和冷臺(tái)系統(tǒng)，主要用于觀察和分析材料在加熱和冷凍過(guò)程中微觀結(jié)構(gòu)上的變化。

　　③拉伸臺(tái)系統(tǒng)：主要用于觀察和分析材料在受力過(guò)程中所發(fā)生的微觀結(jié)構(gòu)變化。掃描電鏡與其他設(shè)備組合而具有的新型分析功能為新材料、新工藝的探索和研究起到重要作用。