場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
SEM5000Pro

SEM5000Pro是低電壓高分辨的熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，使用了高壓隧道技術(shù)（Super-Tunnel）、無(wú)交叉電子光路、靜電電磁復(fù)合物鏡設(shè)計(jì)，減少了空間電荷效應(yīng)，降低系統(tǒng)像差，實(shí)現(xiàn)了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低壓下的成像分辨能力提升，可對(duì)不導(dǎo)電樣品或半導(dǎo)體樣品進(jìn)行直接觀察，有效降低了樣品輻照損傷。

豐富的擴(kuò)展能力

產(chǎn)品特點(diǎn)

01 分辨率高，低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像

02 電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品

03高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證

04電子光路無(wú)交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力

05水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性

06磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動(dòng)切換光闌孔，無(wú)需機(jī)械調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

應(yīng)用領(lǐng)域

應(yīng)用案例

 玻璃基底片 /3kV/ETD

 催化劑 /5kV/Inlens

 磁性粉末 /10 kV/Inlens

 氮化硼納米片 /3kV/ETD

 三元正極前驅(qū)體 /3kV/Inlens

 高熵合金粉末 /10kV/BSED

 金屬銅粉 /3kV/Inlens

 陶瓷截面 /3kV/Inlens

 鈷酸鋰 /3kV/Inlens

 納米花 /1kV/Inlens

 植物切片 /30kV/STEM-BF

 植物切片 /30kV/STEM-DF

 植物切片 /30kV/STEM-HAADF

 勃姆石 /5kV/BSED

 鋼鐵夾雜物 /15kV/BSED

 鋼鐵夾雜物 /15kV/Inlens

產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù)	分辨率	0.8 nm @ 15 kV，SE 0.7 nm @ 15 kV ,  (減速模式）  1.2 nm @ 1.0 kV，SE 0.7 nm @  35 kV STEM
	加速電壓	20 V ～ 30 kV （可升級(jí)35kV）
	放大倍率	1 ～ 2,500,000 x
	電子槍類型	肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
樣品室	攝像頭	雙攝像頭 （光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控）
	樣品臺(tái)行程	X: 110 mm，Y: 110 mm，Z: 50 mm T: -10°～ +90°（加預(yù)傾角）, R: 360°
探測(cè)器和擴(kuò)展	標(biāo)配	鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器：Inlens 倉(cāng)室內(nèi)電子探測(cè)器：ETD
	選配	插入式背散射電子探測(cè)器（BSED）（五分割，可選配） 插入式掃描透射探測(cè)器(STEM) 低真空二次電子探測(cè)器（LVD） 能譜儀（EDS） 背散射衍射（EBSD） 樣品交換倉(cāng)（4 寸 /8 寸） 軌跡球&旋鈕板
軟件	語(yǔ)言	中文SEM軟件
	操作系統(tǒng)	Windows
	導(dǎo)航	光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航、軌跡球（選配）
	自動(dòng)功能	自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散