掃描電鏡全稱掃描電子顯微鏡，是自上世紀(jì)60年代作為商用電鏡面世以來(lái)，迅速發(fā)展起來(lái)的一種新型的電子光學(xué)儀器，被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門(mén)。

掃描電鏡的種類

　　目前市場(chǎng)上提供的商品掃描電鏡有：場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(FEG-SEM)、常規(guī)掃描電鏡(CSEM)以及生物用掃描電鏡。

納克微束高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 FE-1050系列

　　場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡：

　　場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡屬于高分辨型電鏡，使用場(chǎng)發(fā)射槍，如同也一個(gè)2000W特種電源，亮度高，可以照明樣品各個(gè)部位的細(xì)節(jié)，電子束斑直徑不小于1nm。能把樣品1nm尺度的細(xì)節(jié)成像，可以真正實(shí)現(xiàn)低加速電壓下工作。

　　由于場(chǎng)發(fā)射電子槍具有亮度高、能量分散少，陰極源尺寸小等優(yōu)點(diǎn)，場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的分辨率已達(dá)到3nm。場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是可以在低加速電壓下進(jìn)行高分辨率觀察，因此可以直接觀察絕緣體而不發(fā)生充、放電現(xiàn)象。

　　提供的高分辨率圖像可以與同樣放大倍率下的透射電鏡圖像進(jìn)行對(duì)比。現(xiàn)代場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡克服了早期電子源不穩(wěn)定和使用麻煩的缺點(diǎn)，場(chǎng)發(fā)射電子槍參數(shù)一經(jīng)設(shè)定后，全部由計(jì)算機(jī)控制，使用是只需要選定加速電壓就可以操作，幾十調(diào)10萬(wàn)倍圖案，也是輕而易舉的事情。為此電鏡廠家在電子槍的選用、透鏡像差校正、信號(hào)探測(cè)和高真空系統(tǒng)等方面進(jìn)行了精心設(shè)計(jì)和制造，追求分辨率的提高，由此可見(jiàn)，分辨率值使反應(yīng)電鏡綜合性能的唯yi指標(biāo)。場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡目前已經(jīng)大量應(yīng)用于半導(dǎo)體、電腦、材料等領(lǐng)域。

　　常規(guī)掃描電鏡：

　　常規(guī)掃描電鏡使用熱電子槍，與場(chǎng)外發(fā)射槍相比，相當(dāng)10W白熾燈，亮度有限，束斑直徑較大。目前，常規(guī)掃描電鏡采用熱發(fā)射電子槍，分辨率為6nm左右，若采用六硼化鑭電子槍，分辨率可提高到4～5nm。

　　常規(guī)掃描電鏡和場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡分辨相差不大，但想要獲得一張3NM分辨率的圖像，不是任何一個(gè)人是可以實(shí)現(xiàn)的，這已經(jīng)是目前的極限值。至于放大倍率可達(dá)到300kx，則沒(méi)有任何實(shí)際意義，因?yàn)槭咧睆矫黠@大于該倍率下的像元值，分辨率受到束斑直徑的限制，但是對(duì)于大量的常規(guī)檢測(cè)，常規(guī)掃描電鏡因其價(jià)格便宜，適用性強(qiáng)，維護(hù)費(fèi)用低而不可或缺。

　　生物用掃描電鏡：

　　生物用掃描電鏡備有冰凍冷熱樣品臺(tái)，可把含水生物樣品迅速冷凍并對(duì)冰凍樣品進(jìn)行觀察，可以減少化學(xué)處理引起的人為變化，使觀察樣品更接近于自然狀態(tài)。如要觀察內(nèi)部結(jié)構(gòu)，還可用冷刀把樣品進(jìn)行切開(kāi)，加溫使冰升華，并在其上噴鍍一層金屬再進(jìn)行觀察，所有這些過(guò)程都在掃描電鏡中不破壞真空的狀態(tài)下進(jìn)行。

掃描電鏡分類方法

　　按照電子槍種類分：鎢絲槍、六硼化鑭、場(chǎng)發(fā)射電子槍(冷場(chǎng)發(fā)射、熱場(chǎng)發(fā)射);

　　按照樣品室的真空度分：高真空模式、低真空模式、環(huán)境模式(冷熱高壓低壓等等);

　　按照真空泵分：油擴(kuò)散泵、分子泵;

　　按照自動(dòng)化程度分：自動(dòng)、手動(dòng);

　　按照操作方式分：旋鈕操作、鼠標(biāo)操作;

　　按照電器控制系統(tǒng)分：模擬控制、數(shù)字控制;

　　按照?qǐng)D像顯示系統(tǒng)分：模擬顯像、數(shù)字顯像。