掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過(guò)對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。

掃描電鏡操作過(guò)程

　　1、接通電源，打開掃描電鏡主機(jī)上的開關(guān)(開關(guān)有三個(gè)檔，diyi檔為關(guān)閉，第二檔開啟，第三檔為啟動(dòng))啟動(dòng)的時(shí)候把鑰匙放在第三檔大約兩秒鐘松手，掃描電鏡啟動(dòng)，鑰匙自動(dòng)回到第二檔(回到第二檔的原因是防止突然斷電，又突然來(lái)電)。

　　2、打開電腦。

　　3、打開電腦桌面上的掃描電鏡操作軟件(打開軟件掃描電鏡真空泵會(huì)自動(dòng)工作，開始抽電子槍與樣品室內(nèi)的空氣。此時(shí)軟件上的“HT”為灰色，真空抽完之后，“HT”會(huì)變成藍(lán)色)。

納克微束高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 FE-1050系列

　　4、點(diǎn)操作界面的Sample，選擇“Vent”(此時(shí)掃描電鏡主機(jī)上的“放氣”指示燈開始閃爍，停止閃爍為工作完成)，調(diào)正“Staqe”中的“Z”軸為40mm以上軸Zda位置為80mm)，打開樣品室，取出樣品臺(tái)(注意：在取樣品臺(tái)時(shí)手不得接觸二次電子探頭和背散射探頭)，固定樣品(樣品要確保良好的導(dǎo)電性)，完成后再抽真空，點(diǎn)擊Sample中的“Evac”，真空泵開始工作，當(dāng)“HT”變?yōu)樗{(lán)色，抽真空完成。

　　5、確定工作電壓與工作距離(工作電壓“Acc.volt”一般為30KV，工作距離“WD”一般為10mm，束斑Spotsize一般為30，工作模式Signal：二次電子SEI背散射BEW，真空模式Vac.mode：HVLV)在確定工作電壓和工作距離時(shí)，不用看原來(lái)的數(shù)值是多少都要重新指定。

　　6、點(diǎn)擊“HT”打開高壓，“HT”變?yōu)榫G色。

　　7、打開“Staqe”通過(guò)調(diào)正“X、Y、T、R”四個(gè)軸向找到樣品的位置，再調(diào)正“Z”軸確定樣品臺(tái)的位置(注意：在確定工作位置的時(shí)候要確定樣品的高度。如：樣品為2mm，那么軸的數(shù)值應(yīng)調(diào)正為15mm)，放大樣品到模糊看不清的倍數(shù)，通過(guò)對(duì)“Z”軸的上、下位置調(diào)正樣品為Z清淅的位置，再放大樣品到模糊看不清的倍數(shù)，再用同樣的方法調(diào)正到Z清淅的位置。

　　8、點(diǎn)擊“Vlew”使掃描電鏡放大倍數(shù)回到30X。

　　9、先放大到一個(gè)合適選擇Z佳拍照位置的倍數(shù)，選擇一個(gè)Z佳的拍照位置(樣品表面盡量平整)。

　　10、旋轉(zhuǎn)操作臺(tái)上的放大旋鈕到樣品合適的放大倍數(shù)(此數(shù)值的確定跟據(jù)樣品的不同而不同)，氧化鋅的適合放大倍數(shù)為15000X，軟件上操作窗口的Soan2為被選擇狀態(tài)。

　　11、左右旋轉(zhuǎn)操作臺(tái)上的聚焦旋鈕，使圖像到Z清楚的聚焦?fàn)顟B(tài)。

　　12、點(diǎn)擊掃描電鏡軟件上操作窗口的Soan1，此時(shí)在觀查窗口中會(huì)出現(xiàn)一個(gè)新窗口，此窗口中的圖像同樣是放大15000倍的圖數(shù)(消像散調(diào)正的原側(cè)是高倍調(diào)正，低倍拍照)在新的窗口中把圖像放大到30000X(消像散放大的倍數(shù)Z少是拍照倍數(shù)的2倍)。

　　13、按操作臺(tái)上的消像散與對(duì)比度和亮度的切換按鈕，切換到消像散的位置。

　　14、通過(guò)旋轉(zhuǎn)旋鈕調(diào)正X、Y軸上的像散(先調(diào)一個(gè)向方再調(diào)另一個(gè)方向)，使圖像調(diào)正為都是Z清楚的位置。如像散無(wú)法調(diào)正到Z清楚的位置，是因?yàn)橄裆⒁呀?jīng)調(diào)亂了，此時(shí)可以點(diǎn)軟件上操作窗口的“Rest”按鈕恢復(fù)到開始的位置重新校正。校正完畢后把新窗口中的圖像回到拍照放大倍數(shù)。再進(jìn)行聚焦調(diào)正(此時(shí)是微調(diào))。

　　15、按掃描電鏡操作臺(tái)上的消像散與對(duì)比度和亮度的切換按鈕，切換到對(duì)比度與亮度調(diào)正位置。

　　16、點(diǎn)擊軟件上操作窗口的Soan3，大約10秒鐘觀查窗口出現(xiàn)掃描圖像，在此圖像中調(diào)正對(duì)比度與亮度。如果需要觀察某一個(gè)亮度下的圖像，可以就擊操作窗口上的：Sanp1、或Sanp2。(對(duì)比度與亮度的Z佳狀態(tài)為突起的位置不刺眼，凹的位置不能太暗看不清)。

　　17、點(diǎn)擊掃描電鏡軟件上操作窗口的Soan4。80秒后圖像處理完畢。

　　18、點(diǎn)擊圖像上向的“Save”保存圖像。(在保存圖像的時(shí)候可以選擇圖像顯示信息和不顯示)。

更換燈絲及槍對(duì)中操作

　　一、更換燈絲：

　　1、點(diǎn)掃描電鏡操作界面的Sample，選擇“Vent”(此時(shí)掃描電鏡主機(jī)上的“放氣”指示燈開始閃爍，停止閃爍為工作完成)。

　　2、取下燈座外面的帽子，打開燈座。

　　3、用專用工具套上山級(jí)帽，用螺絲刀螺緊專用工具外面的螺絲(用力不要太大)。

　　4、用力向外拔出山級(jí)帽(注意：在放置山級(jí)帽的時(shí)候要輕拿輕放)。

　　5、用螺絲刀螺松山級(jí)帽上的螺釘。

　　6、取出舊燈絲。

　　7、用棉簽帶金屬拋光膏擦拭山級(jí)帽內(nèi)部。

　　8、更換新燈絲(注意：更換時(shí)要注意燈絲的正負(fù)級(jí)，在山級(jí)帽的內(nèi)側(cè)有一個(gè)突起，燈絲座有一個(gè)凹，在裝入燈絲的時(shí)候一定要小心，不能使燈絲與其它物質(zhì)發(fā)生碰撞)。

　　9、固定山級(jí)帽上的螺釘。

　　10、將山級(jí)帽安裝到燈座上。

　　11、蓋上燈座帽。

　　12、點(diǎn)擊Sample中的“Evac”，真空泵開始工作，當(dāng)“HT”變?yōu)樗{(lán)色，抽真空完成。

　　二、槍對(duì)中

　　1、點(diǎn)擊掃描電鏡操作窗口上的“Gun”，打開槍對(duì)中操作界面。

　　2、點(diǎn)擊槍對(duì)中操作界面上的“AUTO”(全自動(dòng)調(diào)整)。

　　3、調(diào)整完畢后，再調(diào)整燈絲的加電壓。注意：在調(diào)整燈絲加電壓的時(shí)候不要把調(diào)整到黃色心內(nèi)，調(diào)整到到黃色的交點(diǎn)處即可)。

　　4、打開高壓。

　　5、調(diào)整X、Y軸使圖像調(diào)整Z清楚的位置。

　　6、將束斑以10遞增，到70再回到30。

　　7、槍對(duì)中調(diào)整完畢。