ICP-MS是二十世紀八十年代發(fā)展起來的一種新的元素分析儀器。該設備提供了極低的檢出限、極寬的動態(tài)線性范圍，譜線簡單、干擾少、分析精密度高，可進行多元素同時快速分析，可使用同位素稀釋法與多種分離技術及進樣方法相結合，能適應于復雜體系的痕量或超痕量元素分析。因其功能的強大得以迅速發(fā)展并廣泛應用于各種科研領域，是科學研究必備的科研儀器。

　　1、外觀檢查

　　ICP-MS應具有下列標識:名稱、型號、制造廠名(或公司名)、出廠日期、出場編號設備編號。主機及配件齊全，ICP-MS的按鍵開關、各調節(jié)旋鈕均應正常工作，無松動現(xiàn)象，指示燈顯示正常。

　　2、背景噪聲

　　ICP-MS經過預熱、穩(wěn)定并達到真空度要求后，以2%高純硝酸溶液進樣，測量質量數(shù)220處的離子計數(shù)，分別測量20個數(shù)據(jù)，取其平均值。

　　3、檢出限

　　ICP-MS經過預熱、穩(wěn)定并達到真空度要求后，以18MΩ·cm的高純水進樣，測量質量數(shù)7、9、59、115、209、238處的離子計數(shù)，積分時間0.1s，分別測量11個數(shù)據(jù)，用測量結果的標準偏差S_A的3倍除以Li、Be、Co、In、Bi、U的靈敏度S，結果即為各元素的檢出限。檢出限計算公式：C_L=3S_A/S。

　　4、靈敏度

　　ICP-MS經過預熱、穩(wěn)定并達到真空度要求后，以1×10^-2mg·L^-1Li、Be、Co、In、Bi、U混合溶液進樣，測量質量數(shù)7、9、59、115、209、238處的離子計數(shù)，積分時間0.1s，分別測量20個數(shù)據(jù)，取其平均值，分別扣除背景噪聲后，再除以其準確濃度值，即為各個元素的靈敏度S[Mcps/(mg·L^-1)]。

　　5、豐度靈敏度

　　ICP-MS經過預熱、穩(wěn)定并達到真空度要求后，分別以2%高純硝酸溶液進樣，測量質量數(shù)132、133、134處的離子計數(shù)B₁₃₂、B₁₃₃、B₁₃₄，積分時間1s，分別測量10次;以1×10^-2mg·L^-1Cs溶液進樣，測量質量數(shù)133處的離子計數(shù)S₁₃₃，積分時間1s，測量10次;以20mg·L^-1Cs溶液進樣，測量質量數(shù)132、134處的離子計數(shù)S₁₃₂、S₁₃₄，積分時間1s，分別測量10個數(shù)據(jù)。

　　計算豐度靈敏度:低質量數(shù)端:δ_低=I₁₃₂/I₁₃₃，高質量數(shù)端:δ_高=I₁₃₄/I₁₃₃，式中:I₁₃₂=S₁₃₂-B₁₃₂，I₁₃₃=(S₁₃₃-B₁₃₃)×2000，I₁₃₄=S₁₃₄-B₁₃₄。

　　6、氧化物離子產率、雙電荷離子產率

　　ICP-MS經過預熱、穩(wěn)定并達到真空度要求后，以1×10^-2mg·L^-1Ce、Ba混合標準溶液進樣，測量質量數(shù)156、140、69、138處的離子計數(shù)，分別計算氧化物比¹⁵⁶CeO⁺/¹⁴⁰Ce⁺和雙電荷比⁶⁹Ba²⁺/¹³⁸Ba⁺，測量50個數(shù)據(jù)，取平均值。

　　7、質量穩(wěn)定性

　　ICP-MS經過預熱、穩(wěn)定并達到真空度要求后，以1×10^-2mg·L^-1Li、Be、Co、In、Bi、U混合溶液進樣，打印質量數(shù)7、9、59、115、209、238的譜圖，8h后重復該進樣和測量步驟，并計算峰ZX偏移的程度。

　　8、分辨率

　　ICP-MS經過預熱、穩(wěn)定并達到真空度要求后，以1×10^-2mg·L^-1Li、Be、Co、In、Bi、U混合溶液進樣，打印質量數(shù)7、9、59、115、209、238的譜圖，并計算10%峰高處的峰寬度。

　　9、同位素豐度比

　　ICP-MS經過預熱、穩(wěn)定并達到真空度要求后，優(yōu)化好掃描次數(shù)和停留時間，分別以1×10^-2mg·L^-1Pb和1×10^-2mg·L^-1Ag溶液進樣，用跳峰法測量²⁰⁶Pb/²⁰⁸Pb和¹⁰⁷Ag/¹⁰⁹Ag，各測量10個數(shù)據(jù)，計算測量結果的相對標準偏差RSD(%)。

　　10、短期穩(wěn)定性

　　ICP-MS經過預熱、穩(wěn)定并達到真空度要求后，以1×10^-2mg·L^-1Li、Be、Co、In、Bi、U混合溶液進樣，測量質量數(shù)7、9、59、115、209、238處的離子計數(shù)，在20min內，每2min取一個數(shù)據(jù)，每個數(shù)據(jù)掃描10次，共計10個數(shù)據(jù)，計算其相對標準偏差RSD(%)，即為ICP-MS的短期穩(wěn)定性。

　　11、長期穩(wěn)定性

　　ICP-MS經過預熱、穩(wěn)定并達到真空度要求后，以1×10^-2mg·L^-1Li、Be、Co、In、Bi、U混合溶液進樣，測量質量數(shù)7、9、59、115、209、238處的離子計數(shù)，在不少于2h內，重復測量不少于10個數(shù)據(jù)，并計算出相對標準偏差RSD長期(%)，即為ICP-MS的長期穩(wěn)定性。

　　12、線性范圍

　　配制濃度梯度0.1ng·L^-1、1ng·L^-1、10ng·L^-1、100ng·L^-1、1ug·L^-1、10ug·L^-1、100ug·L^-1、1mg·L^-1、10mg·L^-1的In溶液。計算線性方程及相關系數(shù)。