要把掃描電鏡使用好，日常的保養(yǎng)和維護(hù)非常重要。通過維護(hù)保養(yǎng)，還能夠發(fā)現(xiàn)掃描電鏡潛在問題，能夠及時(shí)修正和解決問題，避免事態(tài)擴(kuò)大，減少損失。

掃描電鏡維護(hù)保養(yǎng)的目的

　　Zda限度消除掃描電鏡的干擾因素，使得掃描電鏡工作處于Z佳狀態(tài)，獲得良好的圖像質(zhì)量和分析結(jié)果。同時(shí)通過日常維護(hù)保養(yǎng)，能夠及早發(fā)現(xiàn)和解決潛在問題。從掃描電鏡的干擾因素我們可以知道，大部分干擾是常量，變量主要是污染對電子光學(xué)系統(tǒng)的干擾。因此電子光學(xué)系統(tǒng)的清洗和真空系統(tǒng)的維護(hù)成為日常保養(yǎng)和維護(hù)的ZD。

掃描電鏡維護(hù)保養(yǎng)的內(nèi)容

　　一、電子光學(xué)系統(tǒng)清洗的一般原則

　　掃描電鏡電子光學(xué)鏡筒的某些部位可能會觀察到有不同程度的污染跡象，例如電子槍亮度減低，電子透鏡的象散加大，這需要操作者判斷污染的部位和程度。拆卸這些部位，朝向電子束的任何表面可能都需要一次或多次清洗和拋光。清潔的電鏡，電子束亮度Zgao，圖象信噪比較好，象散較小，象散器位置接近零位。

納克微束高分辨場發(fā)射掃描電鏡 FE-1050系列

　　1、清洗頻率

　　清洗掃描電鏡的頻率取決于一系列因素及條件，其中包括：使用時(shí)間、樣品種類、加速電壓及電子束流等。

　　每次更換燈絲時(shí)，柵帽、柵帽光闌固定圈都要清洗，不必清洗陽極和陽極帽。當(dāng)見到明顯的污染及圖象象散過大時(shí)，就應(yīng)清洗物鏡光闌柄并用酒精燈燒物鏡光闌或換新光闌。如果上述部位都已被清洗過，還有明顯的污染和象散跡象，則應(yīng)拆下襯管進(jìn)行清洗。

　　一般油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)，每三個(gè)月就要徹底清洗一次。渦輪分子泵真空系統(tǒng)，正常使用，每年徹底清洗一次。

　　2、清洗部位

　　需要強(qiáng)調(diào)指出的是物鏡下極靴孔，如想清洗，須由有經(jīng)驗(yàn)的廠家維修工程師來清洗，若損傷物鏡的表面或邊緣將嚴(yán)重影響掃描電鏡的性能。在發(fā)現(xiàn)掃描電鏡有信號減弱和象散增大的跡象后，就要判斷污染所在的地方。這由掃描電鏡的真空泵類型決定，一般由“70/20/10”規(guī)則判斷。

　　①帶有離子泵發(fā)射室的，當(dāng)發(fā)現(xiàn)存在污染時(shí)，70%的幾率是物鏡光闌污染。20%的幾率是電子槍需要清洗。10%的幾率是鏡筒襯管、物鏡極靴或探測器。

　?、诓粠щx子泵發(fā)射室的當(dāng)發(fā)現(xiàn)存在污染時(shí)，70%出在電子槍區(qū)域。20%出在物鏡光闌。10%為鏡筒襯管、物鏡極靴或探測器。

　　二、物鏡光闌的清洗和維護(hù)

　　所有的鉑金光闌都可用酒精燈燃燒清洗(也可在鍍膜機(jī)鉬舟上燒)。光闌要輕拿輕放，只能用干凈的鑷子夾住其邊緣，不要用鑷子劃傷光闌表面，也不要夾持光闌孔。

　　1、從掃描電鏡上拆下光闌，放進(jìn)一只鉑金光闌加熱器具內(nèi)。每次只加熱一只光闌。沒有加熱器具的，用鑷子夾住光闌的邊緣，放在酒精燈的火焰上方。

　　2、在酒精燈上燒半分種，將光闌加熱到鮮紅色，不要燒至白色，因?yàn)檫^分加熱將損害光闌。還要小心如果光闌被燒成了看來象“鱷魚皮”(表面呈顆粒狀)，就得放棄這只光闌再換一只新的了。

　　物鏡光闌一定要定期從鏡筒中拆下進(jìn)行清洗。清洗頻率不一定，它要根據(jù)掃描電鏡的使用次數(shù)和樣品等決定。象散增加或圖象噪音增大直接地表示出光闌變臟。

　　三、電子槍的清洗和維護(hù)

　　掃描電鏡鎢燈絲的壽命取決于合適的電流飽和點(diǎn)、細(xì)致的燈絲加熱、電子槍真空度和發(fā)射束流。如果燈絲在操作期間燒斷，觀察管上的圖象信號將消失，發(fā)射束流將降到零，并且燈絲燒斷，燈絲綠色指示滅。

　　1、拆卸燈絲并清洗燈絲組件：用氨水將燈絲組件柵帽光闌附近的揮發(fā)物擦拭干凈，然后再用酒精擦一遍。注意：如果燈絲組件用的時(shí)間較長，除了柵帽光闌附近，其它部位也較臟，將整個(gè)組件全部拆下清洗，然后再重新組裝。

　　2、燈絲重裝及燈絲調(diào)中調(diào)節(jié)燈絲到柵極帽光闌的距離，并使得燈絲正好在柵極光闌ZX。注意：燈絲對中可以使用低倍體視光學(xué)顯微鏡。目前大多數(shù)燈絲采用工廠預(yù)對中燈絲，標(biāo)準(zhǔn)化呼喚，不必進(jìn)行調(diào)整。

　　3、將裝好的電子槍組件重新安放到發(fā)射室上，注意“O”型圈上不要沾有灰塵或毛狀物，注意：如果新燈絲的飽和點(diǎn)發(fā)射束流比理論值高或者低，可能燈絲的距離有錯(cuò)誤。

　　在清洗完掃描電鏡電子槍部件時(shí)，要多抽一些時(shí)間真空，要保持環(huán)境的干燥和清潔。因?yàn)檫@是電子束產(chǎn)生的源頭。當(dāng)清洗電子槍部件時(shí)不要試圖走捷徑;不要立即為新燈絲加電流，要等到適當(dāng)?shù)母哒婵?不要彎折電子槍高壓電纜;不能指望鎢燈絲柵帽中的鉭柵帽光闌會持久。

　　四、鏡筒襯管的維護(hù)和清洗

　　使用專用工具拆卸和清洗掃描電鏡鏡筒襯管，清洗前準(zhǔn)備好鏡筒襯管清洗棒、金屬鏡筒襯管拆卸工具和鏡筒襯管光闌拆卸工具。

　　重裝鏡筒襯管光闌：使用無毛布或無毛手套。注意：在重新安裝光闌組件與安裝鏡筒襯管之前，仔細(xì)檢查清洗過的部件，不應(yīng)留有有機(jī)物殘?jiān)Ｖ荒苡眯¤囎觼韸A光闌。

　　光闌放在光闌帽內(nèi)，當(dāng)組件Z終安裝在襯管內(nèi)后光闌的較平滑一面應(yīng)朝上，擰上光闌帽。

　　五、二次電子探測器維護(hù)

　　電子探測器維護(hù)包括三個(gè)主要組成部分，它們需要階段維護(hù)。它們包括閃爍體本身、閃爍體固定圈和柵網(wǎng)。由于閃爍體經(jīng)過二次電子長時(shí)間的轟擊，會造成閃爍體表面污染，為此會造成閃爍體產(chǎn)生電荷積累而發(fā)生放電現(xiàn)象以及閃爍體發(fā)光效率降低，使圖象的信噪比下降。

　　在觀察圖象時(shí)可以觀察到掃描電鏡探測器的放電現(xiàn)象，在光柵掃描期間形成“脈沖閃爍”或“斑點(diǎn)”，有時(shí)即使在電子束關(guān)閉狀態(tài)時(shí)也可在普通操作對比度下觀察到這種放電現(xiàn)象。這些周期性出現(xiàn)的閃爍要與由于低信噪比引起的統(tǒng)計(jì)噪音和由于高對比度設(shè)置產(chǎn)生的光電倍增噪音區(qū)別開。當(dāng)信號電平、信號質(zhì)量及分辨率下降非常明顯時(shí)，就應(yīng)更換閃爍體了。

　　六、真空系統(tǒng)維護(hù)

　　掃描電鏡物鏡光闌桿、樣品室門和發(fā)射室的“O”型圈暴露后應(yīng)拆下清洗。只需要在樣品室門打開時(shí)檢查一下，如果沾有毛絨或灰塵只要簡單地用酒精沾濕的無毛布擦拭整個(gè)“O”型圈即可。物鏡光闌桿上的“O”型圈每次清洗后都需要涂抹很少量的硅樹脂真空脂，應(yīng)盡可能少量使用，不能涂多。

　　七、隔振和減震系統(tǒng)的維護(hù)

　　振動(dòng)來源于外界和并且有賴于系統(tǒng)內(nèi)部的穩(wěn)定性。掃描電鏡系統(tǒng)抗振能力包括主動(dòng)避振能力和被動(dòng)避振能力。因此對減振避震系統(tǒng)的充分了解有利于提高維護(hù)意識。