將各類膠液滴注于高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴在基片上的膠液通過離心力在基片上均勻地涂覆的設(shè)備，被叫做勻膠機(jī)。溶膠的黏度以及勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速對(duì)于膜的厚度起到?jīng)Q定性作用。

 勻膠機(jī)工藝過程分解

盡管每個(gè)工程師有著各不相同的要求，然而旋涂過程大體上包括四個(gè)不同的階段:

1、往基底材料的表面注膠液滴，此能夠使用一個(gè)注射器噴嘴往使用一個(gè)注射器噴嘴噴灑或者滴注待涂覆的溶液或者膠液。滴注的膠液量一般要比zui終涂覆在表面的膠液量多很多。

2、通過非常快以及非常短的加速使得基底材料的旋轉(zhuǎn)速度到設(shè)定的期望的理想轉(zhuǎn)速，

（1）以設(shè)定恒定的速率和時(shí)長旋轉(zhuǎn)基底,利用膠液的揮發(fā)性來對(duì)薄膜的厚度進(jìn)行改變。

（2）以設(shè)定恒定的速率和時(shí)長旋轉(zhuǎn)基底,利用對(duì)膠液的黏度力的改變而使薄膜的厚度改變。

勻膠機(jī)使用方法

旋涂儀拆箱，將旋涂儀以及配套的說明書,導(dǎo)氣管等附件從箱中取出來。

1、將真空泵的導(dǎo)氣管、廢液接收罐依次接上，排廢氣的軟管位于廢液接收罐上方。

2、充氮?dú)猓ǔＰ枰诘獨(dú)馄炕蛘邔?shí)驗(yàn)室已有的氮?dú)饨涌谏线B接一個(gè)口徑為6毫米的細(xì)管。

3、氣瓶的接口為箍橡皮管。需要換成轉(zhuǎn)接頭與旋涂儀的6mm的白色塑料管連接。

4、充氮?dú)饣蛘吒稍锟諝獾膲毫π枰?0-70PSI

5、將“START”鍵按下使程序啟動(dòng)，一直到完成。

6、將真空泵、氣瓶和勻膠機(jī)開關(guān)依次關(guān)閉