掃描電鏡參數(shù)眾多，皆可顯示在圖片下方工具欄中，但決定圖像質(zhì)量Z直接、Z關(guān)鍵因素是加速電壓(EHT)、工作距離(WD)、放大倍數(shù)(Mag)和檢測器種類。

掃描電鏡常見參數(shù)

　　1、加速電壓

　　一般，加速電壓越高，掃描電鏡圖像分辨率越高，當(dāng)樣品導(dǎo)電性好且不易受電子束損傷時可選用高加速電壓，這時電子束能量大，對樣品穿透深，材料襯度減小，圖像分辨率提高。但加速電壓過高，電子束對樣品的穿透能力過大，樣品表面信息缺失，樣品看起來像玉一樣。

納克微束高分辨場發(fā)射掃描電鏡 FE-1050系列

　　低加速電壓時，入射電子能量較低，其與樣品的作用深度較淺，更能反映樣品Z表層的信息，有利于樣品表層形貌的觀察;此外，低加速電壓可以有效地減少荷電現(xiàn)象，更易觀察不導(dǎo)電樣品。樣品在10kV加速電壓下邊緣過亮，說明此處電荷大量積累，而用1kV加速電壓拍攝的同一部位就沒有明顯的荷電現(xiàn)象。

　　因此，根據(jù)自己的要求靈活地選擇加速電壓，才能得到理想的掃描電鏡圖像。當(dāng)需要觀測樣品的表面信息、樣品的導(dǎo)電性較差、樣品的熱穩(wěn)定性較差時，需要選擇較低的，甚至是超低的加速電壓。當(dāng)需要得到分辨率高的圖像、樣品表面存在有機(jī)污染或是樣品內(nèi)部的相組成信息時，需要選擇較高的加速電壓。

　　2、工作距離

　　工作距離(WD)是物鏡下極靴到樣品表面的距離。工作距離增大時，樣品上的束斑變大，分辨率下降，但孔徑角減小，景深增加。同時，較大的工作距離可以實現(xiàn)極小倍數(shù)成像，放大倍數(shù)能夠達(dá)到幾十倍。通常工作距離可在2-45mm范圍內(nèi)選用。觀察高分辨圖像時可選用小于5mm的工作距離，配合探測器;而觀察粗糙斷口表面或較大的植物樣品時可以選用10mm以上的工作距離，以獲得較大的景深。

　　3、探測器種類

　　SE2和Inlens都是二次電子探測器，用于樣品形貌檢測。ASB探測器是背散射電子探測器，用于元素襯度成像。

　　4、放大倍數(shù)和標(biāo)尺

　　掃描電鏡放大倍數(shù)：體現(xiàn)線圈磁場變化控制電子束掃描區(qū)域大小的能力范圍，是圖像顯示尺寸和電子束在樣品掃描區(qū)域尺寸的線性比值，以M表示，如果樣品上長度為Ls直線上的信息，在顯像管上成像在Lc長度上，則放大倍數(shù)為：M=Lc/Ls。

　　現(xiàn)在的掃描電鏡幾乎全部用數(shù)碼相機(jī)照相。每個廠家對放大倍數(shù)的定義均不相同。每個儀器上也會有很多放大倍數(shù)顯示方法，比如本機(jī)Z常用的是標(biāo)準(zhǔn)放大倍數(shù)，即該掃描區(qū)域?qū)?yīng)545底片上的倍數(shù);此外還有屏幕放大倍數(shù)，即掃描區(qū)域?qū)?yīng)電腦顯示屏的放大倍數(shù)。因此對于不同掃描電鏡，相同放大倍數(shù)下看到的區(qū)域不一定一樣大。此時需要看標(biāo)尺，所有掃描電鏡上的標(biāo)尺長度是一致的。

　　對于同一臺掃描電鏡，操作人員沒有調(diào)節(jié)放大倍數(shù)顯示方法的前提下，照的同一倍數(shù)的照片，大小一致。但有時同一放大倍數(shù)下，顯示的標(biāo)尺是不一樣的，如有時5000倍的照片顯示1μm的標(biāo)尺，有時顯示的是2μm的標(biāo)尺，但標(biāo)尺顯示的長度是按比例的。

掃描電鏡的參數(shù)調(diào)節(jié)

　　1、加速電壓的選擇

　　加速電壓是掃描電鏡的重要參數(shù)，一般來說，掃描電鏡提供的加速電壓的范圍為0.2~30kV，需要根據(jù)種類和分析目的進(jìn)行選擇。

　　2、探針電流的選擇

　　電子槍發(fā)射束流，經(jīng)過聚光鏡調(diào)節(jié)，會聚成更小的束斑尺寸入射樣品，其對應(yīng)的束流稱為探針電流，探針電流大，束斑尺寸相應(yīng)增加。

　　3、物鏡光闌的選擇和調(diào)整

　　掃描電鏡觀察上千倍圖像時，如果反復(fù)調(diào)焦發(fā)現(xiàn)圖像跑動，說明物鏡光闌不合軸。

　　激活選區(qū)掃描，套住圖像中某個特征物，選用震動功能，圖像發(fā)生不規(guī)則跑動，分別仔細(xì)調(diào)節(jié)X和Y兩個旋鈕，使圖像不跑動，只是如同呼吸一樣原地閃動，這時光闌合軸調(diào)好了，關(guān)閉震動功能。調(diào)高倍率圖像時，在電子槍合軸后，物鏡光闌必須合軸，才能消像散。

　　4、相消散

　　掃描電鏡觀察高倍圖像時，反復(fù)調(diào)焦都不清楚，圖像在相互垂直方向上有模糊邊，必須予以消除。

　　消像散操作有三種選擇：

　?、冱c擊下拉菜單的消像散圖標(biāo)，拖動鼠標(biāo)左鍵分別上下或左右移動，使模糊邊盡量減小，再調(diào)焦，清晰度有所改善，該過程反復(fù)進(jìn)行，直到圖像清晰。

　　②在光闌板面點擊消像散，分別拖動XY坐標(biāo)線的兩個方向滑尺，減小模糊量。

　?、劾檬謩硬僮靼迳系膬蓚€消像散旋鈕，分別緩慢轉(zhuǎn)動，消除模糊邊。

　　5、EDS操作

　　EDS也是掃描電鏡的一個Z常用的功能。掃描電鏡通常配備能譜儀，可以對樣品進(jìn)行微區(qū)成分分析。

　　能譜分析注意事項有以下三點：

　?、俟ぷ骶嚯x要調(diào)整到8.5mm，以保證探測器與樣品表面夾角35°。

　?、诩铀匐妷篍HT選擇20kV是個折中值，可以滿足大部分元素分析。原子序數(shù)較低的元素EHT可以選擇較低值。

　　③掃描電鏡定量分析要求較高的計數(shù)率，束流Iprobe可以選較高值，只要能譜死時間<30%即可正常工作。