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產(chǎn)品特點(diǎn)：

便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 主要優(yōu)點(diǎn)：
1.集成無油真空系統(tǒng)：隔膜泵 MVP 020 1.7 m3/h 粗抽能力 + ATH 系列渦輪分子泵
2.氦氣抽速 1.1l/s
3.進(jìn)氣口壓力 15 hPa
4.大尺寸高亮彩色觸摸屏
5.便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 重量僅 21 Kg
6.豐富的可選配件，如吸槍、遙控器、小推車、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等
7.帶有可伸縮手柄的靈巧設(shè)計(jì)
8.可以在任何位置操作：水平或垂直
9.可拆卸式操作面板，帶有用于在金屬底板上定位的磁鐵

產(chǎn)品詳情：

氦質(zhì)譜檢漏儀光刻機(jī)檢漏
上海伯東客戶日本某生產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻機(jī)公司, 光刻機(jī)真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空, 因?yàn)樵O(shè)備整體較大, 需要對構(gòu)成光刻機(jī)的真空相關(guān)部件進(jìn)行檢漏且要求清潔無油, 滿足無塵室使用要求, 為了方便進(jìn)行快速檢漏, 采購伯東 Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310.

光刻機(jī)檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 漏率值設(shè)定為 1x10-11pa m3/s.
1. 通過波紋管與光刻機(jī)真空系統(tǒng)連接
2. 使用噴槍, 噴掃管路, 腔體焊縫, 接頭等部位, 如果存在超過設(shè)定漏率值的狹縫, 檢漏儀會時(shí)時(shí)發(fā)出聲光報(bào)警, 同時(shí)在屏幕上顯示漏率值.

便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 主要技術(shù)參數(shù)：

對氦氣的最小檢測漏率	真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸槍模式 1E-8 Pa m3/s
檢測模式	真空模式和吸槍模式檢漏方法>>
氦質(zhì)譜檢漏儀無油前級泵抽速	1.7 m3/h
檢測氣體	4He , 3He, H2
響應(yīng)時(shí)間	<1s
對氦氣的抽氣速度	1.1 l/s
氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)氣法蘭	DN 25 ISO-KF
進(jìn)氣口最大壓力	15 hPa
通訊接口	RS-232
工作溫度	10-40 °C
噪音水平	< 45 dB (A)
尺寸	350 X 245 X 141 mm
重量	21 kg (46 lb)

鑒于信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解光刻機(jī)檢漏, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 賈小姐 101

價(jià)格貨期電議

上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀光刻機(jī)檢漏 ASM 310

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主要優(yōu)勢 ? 小巧桌上型系統(tǒng) ? 掩膜板制作及激光直寫 ? 375nm 或405nm 激光源 ? 兼容所有光刻膠 ? 高深寬比: 1 x 20; TC Wafer熱電偶晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓硅片測溫?zé)犭娕?光刻機(jī)晶圓溫度測量系統(tǒng); 上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀光刻機(jī)檢漏 ASM 310

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