布魯克 ContourX-100 三維光學(xué)輪廓儀
布魯克 ContourX-200 三維光學(xué)輪廓儀
布魯克 NPFLEX 三維光學(xué)輪廓儀
ZYGO Qualifire? 激光干涉儀
ZYGO Qualifire? 激光干涉儀

三維光學(xué)輪廓儀
ContourX-500
ContourX家族的桌面旗艦型號,全自動設(shè)計,帶編碼器的樣品臺,頭部傾斜設(shè)計,和AcuityXR實現(xiàn)高橫向分辨率

ContourX-500
ContourX-500 光學(xué)輪廓儀是功能zui全面的自動化臺式系統(tǒng),可快速完成非接觸式三維表面計量。ContourX-500 具有卓越的 Z 軸分辨率和準(zhǔn)確度,并具備布魯克落地式白光干涉(WLI)儀器廣受業(yè)界認可的所有優(yōu)勢,而占地面積更小。該款輪廓儀可輕松自主配置,適用于從精密加工表面和半導(dǎo)體工藝的質(zhì)量保證/質(zhì)量控制(QA/QC)計量到眼科和微機電系統(tǒng)(MEMS)器件的研發(fā)表征等廣泛的復(fù)雜應(yīng)用。

專為卓越臺式計量設(shè)計
布魯克專有的光學(xué)頭傾斜/俯仰技術(shù),為用戶生產(chǎn)設(shè)置和檢測提供極大的靈活度。
布魯克將自動傾斜/俯仰功能與顯微鏡頭中的光路相結(jié)合,實現(xiàn)了檢測點與視線的結(jié)合,不受傾斜影響,從而減少操作人員的干預(yù),提供zui大可重現(xiàn)性。其他硬件功能包括創(chuàng)新工作臺設(shè)計,可提升拼接能力;配備一只 5MP 攝像頭,并采用 1200x1000 測量陣列,可降低噪聲、擴大視場并提高橫向分辨率。
ContourX-500
將這些功能與自動化平臺設(shè)置和物鏡相融合,而且僅占較小的空間,成為“按需測量”研發(fā)和工業(yè)計量的理想系統(tǒng)。

直接使用多種分析
ContourX-500
采用布魯克簡單而強大的 VisionXpress? 和 Vision64? 用戶界面,提供數(shù)千種自定義分析以提升實驗室和工廠的效率。布魯克全新通用掃描干涉(USI)測量模式可提供全自動、自感知式表面紋理、優(yōu)化信號處理,同時對所分析的表面形貌執(zhí)行zui準(zhǔn)確、zui實際的計算。

上傳人:上海睿測電子科技有限公司
大?。?.19 MB
315
報價:¥500000
已咨詢338次輪廓儀
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Zeta-300支持3D量測和成像的功能,并提供整合隔離工作臺和靈活的配置,可用于處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot?技術(shù),可同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠焦點圖像。Zeta-300具備Multi-Mode(多模式)光學(xué)系統(tǒng)、簡單易用的軟件、以及低擁有成本,適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測量。 D-600包括一個電動200毫米樣品卡盤和先進的光學(xué)系統(tǒng)以及加強視頻控制。
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晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量,結(jié)合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;
晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機。