布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-500
Bruker Dektak Pro布魯克臺(tái)階儀
bruker布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-100
布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-200
布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-500
Bruker M4 TORNADO PLUS XRF成像光譜儀
ContourX-500光學(xué)輪廓儀是全面的快速，非接觸式3D表面計(jì)量自動(dòng)化臺(tái)式系統(tǒng)。該系統(tǒng)集成了布魯克專有的自動(dòng)傾斜光學(xué)測(cè)頭，可以完全編程并自動(dòng)測(cè)試一定角度范圍內(nèi)的表面特征，并能ZDCD地減少跟蹤誤差。
滿足計(jì)量要求，具有無(wú)與倫比Z軸分辨率和準(zhǔn)確性，并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克的白光干涉儀落地式型號(hào)所有業(yè)界公認(rèn)的優(yōu)點(diǎn)。
借助其新的USI通用掃描模式，本產(chǎn)品可以輕松地針對(duì)各種復(fù)雜應(yīng)用場(chǎng)景定制分析方法。這些場(chǎng)景涵蓋了從精密加工表面和半導(dǎo)體工藝制程，到眼科和MEMS器件的R＆D表征。
高級(jí)自動(dòng)化功能
專有的自動(dòng)傾斜測(cè)頭為生產(chǎn)和監(jiān)測(cè)提供了無(wú)與倫比的靈活性。通過(guò)將自動(dòng)傾斜測(cè)頭與光學(xué)裝置耦合在顯微鏡上，布魯克實(shí)現(xiàn)了測(cè)試位置不受傾斜角度影響的測(cè)量。進(jìn)一步結(jié)合自動(dòng)樣品臺(tái)和物鏡塔臺(tái)，使得ContourX-500非常適合“按需測(cè)量”工業(yè)要求，且占用空間小。
先進(jìn)的臺(tái)式三維形貌計(jì)量設(shè)備
Z軸分辨率
高級(jí)自動(dòng)化功能，包含帶編碼器的XY軸樣品臺(tái)、自動(dòng)測(cè)頭傾斜和自動(dòng)亮度調(diào)整
更緊湊的氣動(dòng)減震臺(tái)設(shè)計(jì)
優(yōu)質(zhì)的測(cè)量與分析功能
易于使用的界面，可快速準(zhǔn)確地獲得結(jié)果
廣泛的自動(dòng)化功能，可量身定制測(cè)量和分析程序
最廣泛的濾鏡和分析工具
滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)的定制化分析報(bào)告
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Zeta-300支持3D量測(cè)和成像的功能，并提供整合隔離工作臺(tái)和靈活的配置，可用于處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot?技術(shù)，可同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無(wú)限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。Zeta-300具備Multi-Mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡(jiǎn)單易用的軟件、以及低擁有成本，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
P-17支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。
P-7支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)150mm而無(wú)需圖像拼接。
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾納米到1200微米的2D和3D臺(tái)階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測(cè)量。 D-600包括一個(gè)電動(dòng)200毫米樣品卡盤和先進(jìn)的光學(xué)系統(tǒng)以及加強(qiáng)視頻控制。
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晶圓幾何形貌測(cè)量及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)使用高精度高速光譜共焦雙探頭對(duì)射傳感器實(shí)現(xiàn)晶圓的非接觸式測(cè)量，結(jié)合高精度運(yùn)動(dòng)模組及晶圓機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級(jí)精度的測(cè)量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍(lán)寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；
晶圓幾何形貌及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)PLS- F1000/ F1002 是一款專門測(cè)量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動(dòng)晶圓形貌檢測(cè)及分選機(jī)。
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